Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2010 - zeszyt 6

Konstrukcja i badania interferometru laserowego bazującego na elementach dyfrakcyjnych dedykowanego do pomiarów M(O)EMS

nr katalogowy: 52294

Rozwój technologii oraz wzrastająca liczba urządzeń wykorzystujących mikrosystemy M(O)EMS w wielu dziedzinach narzuca ścisłe wymagania ich producentom. Na ogół w różnych fazach produkcji wykorzystuje się kontaktowe i bezkontaktowe metody pomiarowe stosowane do badań podłoży, warstw lub pojedynczych elementów MEMS. To czyni proces produkcji i jego kontrolę znacznie dłuższą i kosztowną. W ramach europejskiego projektu "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS) opracowywany jest system do szybkiego, efektywnego testowania wielu elementów MEMS jednocześnie [1,2]. Realizacja projektu zakłada zastosowanie dwóch typów interferometrów do wielofunkcyjnych badań w czasie produkcji pozwalających z jednej strony na stukrotne zmniejszenie czasu trwania, a z drugiej strony na stuprocentową nieniszczącą kontrolę parametrów i funkcjonalności wszystkich obiektów w obrębie podłoża. Zasada działania interferometru laserowego Prezentowany demonstrator jest modyfikacją interferometru Twymana-Greena. Interferometry tego typu są często wykorzystywane do bezkontaktowych pomiarów odbijających elementów ME(O)MS charakteryzujący[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 52294 "Konstrukcja i badania int..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2010-6 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2010-6

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma