Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2010 - zeszyt 6

Krzemowa mikropompka gazowa z napędem piezoelektrycznym

nr katalogowy: 52268

Prowadzone w ITE badania dotyczące układów do analiz chemicznych gazów, a także badania w zakresie zalewania i odpowietrzania układów do analiz cieczowych były powodem rozpoczęcia prac wiodących do opracowania krzemowej mikropompki gazowej, działającej w oparciu o dynamiczne zawory bierne [1, 2, 4]. Konstrukcja pompki Konstrukcja pompki składa się z dwóch płytek krzemowych (rys. 1). W płytce górnej wytworzono w procesie trawienia anizotropowego membranę (9,2 × 6,9 mm). W płytce dolnej, w procesie dwustronnego trawienia anizotropowego wykonano dwa zawory bierne oraz wgłębienia pozwalające na samocentrowanie obu płytek w procesie klejenia. Element piezoelektryczny (8 × 6 mm) - działający w modzie d31 - połączony jest z membraną za pomocą kleju przewodzącego. Struktury krzemowe wykonano oraz zmontowano na linii doświadczalnej ITE. który przyklejono do membrany. Wyniki pomiarów przedstawiono na rys. 3. W efekcie - za celowe przyjęto ograniczenie parametrów [...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 52268 "Krzemowa mikropompka gazo..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2010-6 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2010-6

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma