Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2024 - zeszyt 7

WPŁYW DAWKI PREKURSORA PROCESU ALD W NA JAKOŚĆ WARSTW AR I AS WYKORZYSTYWANYCH TECHNOLOGIACH FOTOWOLTAICZNYCH

Influence of the ALD process precursor dose on the quality of AR and AS layers used in photovoltaic technologies

10.15199/13.2024.7.7

Paweł Kwaśnicki

nr katalogowy: 149635
10.15199/13.2024.7.7

Streszczenie

W pracy skupiono się na optymalizacji kluczowych parame trów procesu ALD w wielkoskalowym reaktorze produkcyjnym o rozmiarze 2200 × 1200 mm pozwalającym na jednoczesne pokrywanie warstwą tlenkową 10 tafli szklanych o grubości 4 mm. Optymalizacji poddano procesy wzrostu warstwy Al2O3 oraz TiO2 jako materiałów charakteryzujących się wysoką od pornością na czynniki środowiskowo klimatyczne.

Abstract

The influence of the precursor dose of the ALD process on the quality of AR and AS layers used in photovoltaic technologies. The focus of the work was on optimizing key parameters of the ALD process in a large-scale production reactor measuring 2200 × 1200 mm, allowing simultaneous coating of 10 glass sheets, each with a thickness of 4 mm, with an oxide layer. The optimization involved the growth processes of Al2O3 and TiO2 layers as materials characterized by high resistance to environmental factors.

Keywords

Bibliografia

[1] D.F. Zambrano, R. Villarroel, R. Espinoza-Gonzalez, N. Carva jal , A. Rosenkranz , A. G. Montano-Figueroa, M.J. Arellano Jim´enez , M. Quevedo-Lopez , P. Valenzuela, W. Gacitúa, „Mechanical and microstructural properties of broadband anti reflective TiO2/SiO2 coatings for photovoltaic applications fab ricated by magnetron sputtering „ Solar Energy Materials and Solar Cells, vol 220,2021
[2] Travis Sarver, Ali Al-Qaraghuli, and Lawrence L. Kazmerski, “A Comprehensive Review of the Impact of Dust on the Use of Solar Energy: History, Investigations, Results, Literature, and Mitigation Approaches,” Renew. Sust. Energy Rev. 22 (2013): 698–733
[3] Właściwości optyczne pokryć antyrefleksyjnych dla zastosowań fotowoltaicznych
[4] Tomasz Stapiński, Konstanty Marszałek , Janusz Jaglarz, PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY, ISSN 0033-2097, R. 90 NR 9/2014
[5] V. Edlmayr, M. Moser, C. Walter, C. Mitterer “Thermal stability of sputtered Al2O3 coatings”, Surface and Coatings Technology, Volume 204, Issues 9–10, 25 January 2010, Pages 1576-1581
[6] Maria Luisa Grilli,* Daniele Valerini, Antonella Rizzo, Mehmet Yilmaz, Chen Song,Guohang Hu, Alexey Mikhaylov, Rosa Chierchia, and Antonio Rinald, “A Comparative Study of the Mechanical and TribologicalProperties of Thin Al2O3Coatings Fabricated by AtomicLayer Deposition and Radio Frequency Sputtering” Physica status solidi (a) Volume 219, Issue 1Jan 2022
[7] Y. Huang, G. Pandraud, P.M. Sarro Characterization of low temperature deposited atomic layer deposition TiO2 for MEMS applications J. Vac. Sci. Technol. A, 31 (2013), p. 01A148
[8] G.S. Sveshnikova, S.I. Kol'tsov, V.B. Aleskovskii Interaction of titanium tetrachloride with hydroxylated silicon surfaces J. Appl. Chem. USSR, 43 (1970), pp. 432-434
[9] R.L. Puurunen A Short history of atomic layer deposition: Tuomo Suntola's atomic layer epitaxy Chem. Vap. Depos., 20 (2014), pp. 332-344

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA- e-publikacja (pdf) z zeszytu 2024-7 , nr katalogowy 149635 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA- e-zeszyt (pdf) 2024-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	47.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2024-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma