Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2014 - zeszyt 10

Układy sterowania i przetwarzania sygnału z dźwigni piezorezystywnych wzbudzanych elektromagnetycznie

10.15199/ELE-2014-164

nr katalogowy: 87354
10.15199/ELE-2014-164

Mikrostruktury belkowe stanowią atrakcyjne narzędzia stosowane w mikro- oraz nanoskali. Obszar ich zastosowań jest bardzo szeroki począwszy od czujników wilgotności, temperatury, pola magnetycznego a kończąc na mikro- i nanomanipulatorach [1-3]. Zmieniając właściwości fizyko-chemiczne powierzchni belki przez odpowiednią funkcjonalizację można ją wykorzystać jako czujnik reagujący na dane typy cząstek lub molekuł znajdujących się w otoczeniu czujnika [2]. Prezentowana mikrodźwignia (rys. 1) wytworzona została w Instytucie Technologii Elektronowej w Warszawie [4].Struktura powstała w wyniku szeregu procesów mikroelektronicznych w krzemie, integrując w swojej budowie detektor wychylenia w postaci piezorezystywnego mostka Wheatstone'a oraz aktuator wychylenia w postaci pętli prądowej [5]. Zaletą układów posiadających detektor ugięcia oraz aktuator wychylenia jest niewątpliwie fakt, że do pomiaru ugięcia nie trzeba wykorzystywać skomplikowanych układów optycznych czy też interferometrycznych. Za pomocą zintegrowanego aktuatora układ taki można wprowadzić w drgania rezonansowe bądź ugiąć statycznie w zakresie do kilkunastu mikrometrów. Mikromechaniczne dźwignie piezorezystywne aktuowane elektromagnetycznie a) Detektor ugięcia Zasada działania detektora piezorezystywnego polega na zmianie rezystancji elementów poddawanych naprężeniom powstającym w wyniku ugięcia bądź drgań mikrodźwigni [1]. Mostek Wheatstone’a, jak zaznaczono na rys. 1, tworzą piezorezystory R1 - R4, które wykonane zostały w wyniku implantacji boru (domieszka typu p) do podłoża krzemowego Elektronika 10/2014 27 Powstanie siły opisanej zależnością (2) powoduje ugięcie mikrobelki, a kierunek ugięcia zależy od kierunku przepływającego prądu oraz kierunku wektora indukcji pola magnetycznego. Tym samym za sprawą kierunku prądu płynącego w pętli łatwo można kontrolować kierunek ugięcia oraz siłę z jaką mikrobelka działa na obiekt. Za źródło pola magnetycz[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


PRZEGLĄD PAPIERNICZY- e-publikacja (pdf) z zeszytu 2023-5 , nr katalogowy 143431 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD PAPIERNICZY- e-zeszyt (pdf) 2023-5 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	31.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD PAPIERNICZY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

342.00 zł

PRZEGLĄD PAPIERNICZY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD PAPIERNICZY - papierowa prenumerata roczna	420.00 zł brutto 388.89 zł netto 31.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD PAPIERNICZY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

462.00 zł

PRZEGLĄD PAPIERNICZY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD PAPIERNICZY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	516.00 zł brutto 477.78 zł netto 38.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

516.00 zł

Zeszyt

2014-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma