Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2023 - zeszyt 3

Thermal Analysis of Micro-Heaters using the 3D-TLM method and COMSOL Multiphysics software for MEMS based Gas Sensor

Analiza termiczna mikrogrzejników metodą 3D-TLM i oprogramowaniem COMSOL Multiphysics dla czujnika gazu MEMS

10.15199/48.2023.03.43

nr katalogowy: 142339
10.15199/48.2023.03.43

Streszczenie

The gas sensors with Metal-Oxide (MOx) offer new opportunities for MEMS sensors due to their low congestion, high sensibility and fast answer. Microhotplate is the key component in these sensors to control the temperature of the sensing layer. In this work a meander platinum based heater has been fabricated and design. The transmission line matrix 3D-TLM method and COMSOL software are used to predict the homogeneous temperature distribution. Thus, temperatures control of hot areas of micro-heater are very important before any gas sensors and MEMS design.

Abstract

Czujniki gazu z tlenkiem metalu (MOx) oferują nowe możliwości dla czujników MEMS ze względu na ich niewielkie zatłoczenie, wysoką czułość i szybką odpowiedź. Płyta grzejna jest kluczowym elementem tych czujników do kontrolowania temperatury warstwy czujnikowej. W tej pracy wykonano i zaprojektowano meandrowy grzejnik na bazie platyny. Metoda 3D-TLM z macierzą linii transmisyjnych i oprogramowanie COMSOL są wykorzystywane do przewidywania jednorodnego rozkładu temperatury. Dlatego kontrola temperatury gorących obszarów mikropodgrzewacza jest bardzo ważna przed jakimikolwiek czujnikami gazu i projektowaniem MEMS.

Słowa kluczowe

Keywords

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY- e-publikacja (pdf) z zeszytu 2023-3 , nr katalogowy 142339 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY- e-zeszyt (pdf) 2023-3 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	70.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2023-3

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma