Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2022 - zeszyt 1

Badanie własności grubowarstwowego kontaktu srebro-węglik krzemu modyfikowanego wiązką laserową

10.15199/48.2022.01.36

nr katalogowy: 135367
10.15199/48.2022.01.36

Streszczenie

W pracy zaprezentowana jest metoda uzyskiwania kontaktów omowych do węglika krzemu z wykorzystaniem srebrowego kleju przewodzącego oraz lasera modyfikującego obszar kontaktu. Metoda nie wymaga przeprowadzania procesu wygrzewania całej struktury. Może ona znaleźć zastosowanie w pracach laboratoryjnych nad SiC wymagających szybkiego wytworzenia kontaktów omowych do struktur z SiC.

Abstract

The paper presents a method of obtaining ohmic contacts to silicon carbide with the use of a silver conductive adhesive and a laser beam modifying the contact area. The method does not require the whole structure annealing process. It can be used in laboratory work on SiC requiring rapid creation of ohmic contacts to SiC structures. (Investigation of the Properties of a Thick-Film Silver-Silicon Carbide Contact Treated by a Laser Beam).

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] van Brunt, E., Burk, A., Lichtenwalner, D. J., Leonard, R., Sabri, S., Gajewski, D. A., Mackenzie, A., Hull, B., Allen, S., & Palmour, J. W., Performance and Reliability Impacts of Extended Epitaxial Defects on 4H-SiC Power Devices, Materials Science Forum, 924 (2018), 137–142
[2] Kimoto, T., & Cooper, J. A., Fundamentals of silicon carbide technology: growth, characterization, devices and applications, John Wiley & Sons, (2014).
[3] Vlasov, I. I., Lyalin, A. A., Obraztsova, E. D., Simakin, A. V., & Shafeev, G. A., Formation of ohmic contacts with SiC by laser ablation, Quantum Electronics, (1998), 28(8), 673.
[4] Rupp, R., Kern, R., & Gerlach, R. Laser backside contact annealing of SiC power devices: A prerequisite for SiC thin wafer technology, In 2013 25th International Symposium on Power Semiconductor Devices & IC's, (ISPSD), (2013), (pp. 51-54). IEEE.
[5] De Silva, M., Ishikawa, S., Miyazaki, T., Kikkawa, T., & Kuroki, S. I., Formation of amorphous alloys on 4H-SiC with NbNi film using pulsed-laser annealing, Applied Physics Letters, (2016), 109(1), 012101.
[6] Zhou, Z., He, W., Zhang, Z., Sun, J., Schöner, A., & Zheng, Z., Characteristics of Ni-based ohmic contacts on n-type 4H-SiC using different annealing methods, Nanotechnology and Precision Engineering, (2021), 4(1), 013006.
[7] Sanzaro, S., Bongiorno, C., Badalà, P., Bassi, A., Franco, G., Vasquez, P., ... & La Magna, A., Inter-diffusion, melting and reaction interplay in Ni/4H-SiC under excimer laser annealing, Applied Surface Science, (2021), 539, 148218.
[8] van der Pauw, L.J. A method of measuring specific resistivity and Hall effect of discs of arbitrary shape, Philips Research Reports, (1958), 13(2), 1-9.
[9] Roccaforte, F., Vivona, M., Greco, G., Lo Nigro, R., Giannazzo, F., Rascunà, S., & Saggio, M., Metal/semiconductor contacts to Silicon Carbide: Physics and technology, Materials Science Forum i Trans Tech Publications Ltd., (2018), 339-344
[10] Choi, W. K., Optical, structural, and electrical properties of amorphous silicon carbide films, Silicon-Based Material and Devices. Academic Press, (2001). 1-71.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY- e-publikacja (pdf) z zeszytu 2022-1 , nr katalogowy 135367 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY- e-zeszyt (pdf) 2022-1 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	55.00 zł
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY- e-zeszyt (pdf) 2022-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	58.00 zł
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY- e-zeszyt (pdf) 2022-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	58.00 zł
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY- e-zeszyt (pdf) 2022-12 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	58.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2022-1

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma