Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2020 - zeszyt 10

WYBRANE WŁAŚCIWOŚCI CIENKICH WARSTW TLENKÓW WOLFRAMU WYTWARZANYCH PRZY RÓŻNYCH WARUNKACH PROCESU ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO

Analysis of the selected properties of tungsten oxide thin films deposited by magnetron sputtering in various technological parameters

10.15199/13.2020.10.3

nr katalogowy: 128703
10.15199/13.2020.10.3

Streszczenie

W pracy przedstawiono wyniki badań i analizy właściwości cienkich warstw tlenków wolframu wytworzonych metodą rozpylania magnetronowego. Proces wytwarzania przeprowadzono przy zmiennych warunkach technologicznych, takich jak proporcja mieszaniny gazów O2:Ar oraz odległość target-podłoże. Zwiększenie przepływu argonu w mieszaninie gazów O2:Ar podczas procesu spowodowało zmianę właściwości elektrycznych cienkich warstw z dielektrycznych na półprzewodnikowe. Ponadto, wyniki pomiarów współczynnika transmisji światła wykazały, że wraz ze wzrostem przepływu argonu przezroczystość warstw ulega pogorszeniu. Mniejsze odległości target-podłoże skutkowały zwiększeniem szybkości nanoszenia warstw. Wszystkie naniesione warstwy charakteryzowały się małą chropowatością oraz właściwościami hydrofilowymi powierzchni.

Abstract

The aim of the presented work is investigation of the properties of tungsten oxide thin films deposited by magnetron sputtering. The process was performed with use of various technological properties such as O2:Ar gas mixture ratios and target-substrate distance. Increase of argon content in O2:Ar gas mixture during process caused change of electrical properties of thin films from dielectric to semiconducting. Moreover, measurements of light transmission coefficient showed that thin layer transparency decreased with increase of argon content. Decrease of target-substrate distance resulted in an increase of deposition rate. All deposited thin films had low roughness and hydrophilic properties.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] Xu, X., Yazdi, M. A. P., Salut, R., Cote, J. M., Billard, A., Martin, N. (2018). Structure, composition and electronic transport properties of tungsten oxide thin film sputter-deposited by the reactive gas pulsing process. Materials Chemistry and Physics, 205, 391-400.
[2] Raudoniene, J., Laurikenas, A., Kaba, M. M., Sahin, G., Morkan, A. U., Brazinskiene, D., Garskaite, E. (2018). Textured WO3 and WO3:Mo films deposited from chemical solution on stainless steel. Thin Solid Films, 653, 179-187.
[3] Yu, S. Q., Ling, Y. H., Wang, R. G., Zhang, J., Qin, F., Zhang, Z. J. (2018). Constructing superhydrophobic WO3@ TiO2 nanoflake surface beyond amorphous alloy against electrochemical corrosion on iron steel. Applied Surface Science, 436, 527-535.
[4] Zhang, X., Dou, S., Li, W., Wang, L., Qu, H., Chen, X., Li, Y. (2019). Preparation of monolayer hollow spherical tungsten oxide films with enhanced near infrared electrochromic performances. Electrochimica Acta, 297, 223-229.
[5] Selvakumar, N., Barshilia, H. C., Rajam, K. S. (2010). Effect of substrate roughness on the apparent surface free energy of sputter deposited superhydrophobic polytetrafluoroethylene coatings: A comparison of experimental data with different theoretical models. Journal of Applied Physics, 108(1), 013505.
[6] Wang, B., Zhang, Y., Shi, L., Li, J., Guo, Z. (2012). Advances in the theory of superhydrophobic surfaces. Journal of Materials Chemistry, 22(38), 20112-20127.
[7] Mattox, D. M. (2010). Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing. William Andrew.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA- e-publikacja (pdf) z zeszytu 2020-10 , nr katalogowy 128703 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA- e-zeszyt (pdf) 2020-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2020-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma