Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2020 - zeszyt 10

WŁAŚCIWOŚCI TERMOELEKTRYCZNE CIENKICH WARSTW TLENKÓW MIEDZI WYTWORZONYCH METODĄ ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO

Thermoelectric properties of copper oxides thin films deposited by magnetron sputtering method

10.15199/13.2020.10.1

nr katalogowy: 128701
10.15199/13.2020.10.1

Streszczenie

NW niniejszej pracy przedstawiono wyniki badań właściwości termoelektrycznych cienkich warstw tlenków miedzi (CuxO). Metodą rozpylania magnetronowego wytworzono powłokę cienkowarstwową składającą się z krystalitów metalicznej miedzi oraz Cu2O. Wygrzewanie poprocesowe w temperaturach 200°C, 300°C i 350°C spowodowało zmiany składu fazowego powłoki. Rezystywność cienkiej warstwy CuxO tuż po naniesieniu wynosiła 1,9·10-4 Ωcm, natomiast powłoki wygrzanej w temperaturze 200°C wynosiła 3,2 Ωcm. Dalszy wzrost temperatury wygrzewania powodował spadek wartości rezystywności. Na podstawie pomiarów współczynnika Seebecka stwierdzono, że wszystkie wytworzone warstwy charakteryzowały się dziurowym typem przewodnictwa

Abstract

This paper provides the results of research on the thermoelectric properties of copper oxides (CuxO) thin films. Produced by magnetron sputtering method CuxO thin film consists of metallic copper and Cu2O crystallites. Post-process annealing at 200°C, 300°C and 350°C resulted in the modification of coating phase composition. The resistivity of the as-deposited CuxO thin film was equal to 1.9·10-4 Ωcm, while the resistivity thin film annealed at 200°C was equal to 3.2 Ωcm. A further increase in the annealing temperature resulted in a decrease of resistivity value. Based on Seebeck coefficient measurements, it was found that all coatings were characterized by p-type conductivity.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] Prasanth D., Sibin K.P., Barshilia H.C. (2019). Optical properties of sputter deposited nanocrystalline CuO thin films. Thin Solid Films, 673, 78-85.
[2] Zheng W., Chen Y., Peng X., Zhong K., Lin Y., Huang Z. (2018). The Phase Evolution and Physical Properties of Binary Copper Oxide Thin Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering.Materials, 11, 1–13.
[3] Nunes D., Pimentel A., Goncalves A., Pereira S., Branquinho R., Barquinha P., Foryunato E., Martins R. (2019). Metal oxide nanostructures for sensor applications. Semiconductor Science and Technology, 34, 1-60.
[4] Shukor A.H., Alhattab H.A., Takano I. (2020). Electrical and Optical Properties of Copper Oxide Thin Films Prepared by DC Magnetron Sputtering. Journal of Vacuum Science & Technology B, 38, 0128031-5.
[5] Wang Y., Miska P., Pilloud D., Horwat D., Mücklich F., Pierson J. F. (2014). Transmittance enhancement and optical band gap widening of Cu2O thin films after air annealing. Journal of Applied Physics, 115, 2–7.
[6] Figueiredo V., Elamurugu E., G., Barquinha P., Pereira L., Franco N., Martins R., Fortunato E. (2008). Effect of post-annealing on the properties of copper oxide thin films obtained from the oxidation of evaporated metallic copper. Applied Surface Science, 254, 3949–3954.
[7] Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Diffraction Data File, No. 04-0836, International Centre for Diffraction Data (ICDD, formerly JCPDS), Newtown Square, PA, 1991.
[8] Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Diffraction Data File, No. 65-3288, International Centre for Diffraction Data (ICDD, formerly JCPDS), Newtown Square, PA, 1991.
[9] Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Diffraction Data File, No. 65-2309, International Centre for Diffraction Data (ICDD, formerly JCPDS), Newtown Square, PA, 1991.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA- e-publikacja (pdf) z zeszytu 2020-10 , nr katalogowy 128701 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA- e-zeszyt (pdf) 2020-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy Nowość	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2020-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma