Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2016 - zeszyt 8

FIB/SEM technology in NEMS/MEMS fabrication and investigation

10.15199/48.2016.08.06

nr katalogowy: 99966
10.15199/48.2016.08.06

FEI Helios NanoLab 600i microscope with Kleindiek MM3A-EM micromanipulators, controlled by microscope PC connected to Keithley 2400 Source Meter, has been used in our experiments. Due to limited space only several examples of FIB/SEM processes that have been conducted are presented here. They proof the great advantage of this technology in modifying single structures in short time. Streszczenie. Mikroskop FEI Helios600i wraz z mikromanipulatorami Kleindiek MM3A-EM oraz urządzenie Keithley 2400 zostały użyte w naszych eksperymentach. Z powodu ograniczonego miejsca przedstawiono jedynie kilka przykładów procesów z wykorzystaniem technologii FIB/SEM. Największą zaletą tej technologii jest możliwość modyfikacji pojedynczej struktury w krótkim czasie. (Technologia FIB/SEM w produkcji i badaniach NEMS/MEMS). Keywords: Focused Ion Beam, Scanning Electon Microscope, Micro Electro-Mechanical Systems, Nano Electro-Mechanical Systems. Słowa kluczowe: Zogniskowana Wiązka Jonów, Skaningowy Mikroskop Elektronowy, Mikro Elektro-Mechaniczny System, Nano Elektro- Mechaniczny System. Introduction Nowadays an increase of microelectronic devices complexity can be observed. This kind of devices, often containing micro- and nanomechanical parts, form so called micro- and/or nano electro-mechanical systems (MEMS/NEMS). Due to the complexity mentioned above it is quite difficult to recognize the reason of the microelectronical failure. Usually the micro- and nanoelectronic components are integrated in the substrate and only ohmic connections for wirebonding are on the top of the considered structure. For the complex investigation there is a need to perform volume analyses at the nanoscale regime. In this case the focused ion beam/scanning electron microscope (FIB/SEM) technology seems to be one of the most appropriate investigation tools [...]

Bibliografia

[1] Giannuzzi L.A., Stevie F.A., A review of focused ion beam milling techniques for TEM specimen preparation, Micron, 30 (1999), 197-204
[2] Gierak J., Focused ion beam technology and ultimate applications, Semicond. Sci. Technol., 24 (2009), 043001 (23pp)
[3] Schneider P., Meier M., Wepf R., Mueller R., Serial FIB/SEM imaging for quantitative 3D assessment fort the osteocyte lacuno-canalicunar network, Bone, 49 (2011), 304-311
[4] Villinger C., Gregorius H., Kranz C., Hoehn K., Muenzberg C., von Wichert G., Mizaikoff B., Wanner G., Walther P., FIB/SEM tomography with TEM-like resolution for 3D imaging of highpressure frozen cells, Histochemistry and Cell Biology, 138 (2012), 549-556
[5] Kizilyaprak C., Bittermann A.G., Daraspe J., Humbel B.M., FIB/SEM tomography in biology, Methods Mol. Biol., 1117 (2014), 541-558
[6] Walraven J.A., Failure mechanisms in MEMS, International Test Conference 2003, Charlotte, NC, USA, 30 September - 2 October 2003, IEEE Computer Society, 828-833
[7] Sierakowski A., Kopiec D., Janus P., Ekwińska M., Płuska M., Grabiec P., Gotszalk T., Piezoresistive cantilever working in a shear force mode for in situ characterization of exposed microand nanostructures, Measurement Science and Technology, 25 (2014), 044018.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 12415 "Z KRAJU I ZE ŚWIATA..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2016-8 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2016-8

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma