Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2019 - zeszyt 10

Wpływ materiału maskującego na jakość odwzorowania w procesie suchego trawienia węglika krzemu 4H-SiC w plazmie chlorowej

Influence of masking materials on the quality of mapping in silicon carbide 4H-SiC dry etching processes in chlorine plasma

10.15199/48.2019.10.36

nr katalogowy: 122739
10.15199/48.2019.10.36

Streszczenie

W pracy zaprezentowano analizę wytrzymałości trzech rezystów na oddziaływanie plazmy chlorowej. Przeprowadzono serie procesów trawienia SiC, w których maskę zrealizowano przy użyciu materiałów PMMA 950, ZEP 520 oraz HSQ. W ramach opracowanych eksperymentów zbadano różne dawki naświetlania rezystów. Na potrzeby analizy wykonane zostały badania przy użyciu skaningowej mikroskopii elektronowej. Ponadto wykorzystano profilometrię w celu określenia parametrów wyjściowych trawienia – szybkości trawienia rezystu i węglika krzemu. Pomiary zrealizowano przed i po usunięciu maski z rezystu. Wyznaczono zakresy głębokości trawienia przy założonej grubości użytego materiału maskującego.

Abstract

The paper presents an analysis of the durability of three resists on the effect of chlorine plasma. A series of SiC etching processes were carried out, where using PMMA 950, ZEP 520 and HSQ materials the mask was made. As part of the experiments developed, various doses of irradiation were tested. For etching characterization scanning electron microscopy were performed. In addition, to determine the parameters like the etching speed of the resist and silicon carbide, profilometry was used. Measurements before and after removing the mask were realized. Possible etching depth ranges were determined at the assumed thickness of the masking material used.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] S. Wolf, R.N. Tauber, “Silicon processing for the VLSI Era. Vol.1 - process technology", Lattice Press, Sunset Beach, California, (1987).
[2] JB. Casady, RW. Johnson, "Status of Silicon Carbide (SiC) as a Wide-Bandgap Semiconductor for High-Temperature Applications: A Review“, Solid-State Electronics, 39 (10) (1996) 1409-22.
[3] PR. Chalker, "Wide Bandgap Semiconductor Materials for High Temperature Electronics“, Thin Solid Films. 343-344 (1- 2) (1999) 616-622.
[4] T. Kimoto, "Material science and device physics in SiC technology for high-voltage power devices“, The Japan Society of Applied Physics, 54 (4) (2015) 040103,
[5] D. Zhuang, J.H. Edgar, "Wet etching of GaN, AlN, and SiC: a review“, Materials Science and Engineering: R: Reports, 48 (1) (2005) 1-46.
[6] A Szczęsny, P. Śniecikowski, J. Szmidt, A. Werbowy, "Reactive ion etching of novel materials - GaN and SiC", Vacuum 70 (2003) 249-254.
[7] P.-S. Kang, K.-T. Kim, D.-P. Kim, Ch.-I. Kim, A.M. Efremov, “Dry etching characteristics of (Ba0.6,Sr0.4)TiO3 thin films in high density CF4/Ar plasma", Surface and Coatings Technology 171 (1-3) (2003) 273-279.
[8] A. Werbowy, P. Firek, J. Chojnowski, A. Olszyna, J. Szmidt, N. Kwietniewski, "Barium titanate thin films plasma etch rate as a function of the applied RF power and Ar/CF4 mixture gas mixing ratio", physica status solidi (c) 4 (4) (2007) 1578-1580.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 122739 "Wpływ materiału maskujące..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2019-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2019-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma