Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2019 - zeszyt 9

NANOMETRYCZNE WARSTWY TLENKU CYNKU WYTWARZANE METODAMI PRÓŻNIOWYMI

Nanometric zinc oxide films produced by vacuum methods

10.15199/13.2019.9.1

nr katalogowy: 122608
10.15199/13.2019.9.1

Streszczenie

Celem artykułu jest porównanie wpływu metody wytwarzania oraz temperatury procesu na własności cienkich warstw tlenku cynku. Zbadano strukturę, morfologię i topografię wytworzonych warstw oraz ich własności optyczne i elektryczne. Badane warstwy ZnO zostały wytworzone w procesie rozpylania magnetronowego oraz osadzania warstw atomowych. Przeprowadzone badania wykazały wpływ metody wytwarzania oraz temperatury procesu na analizowane własności.

Abstract

The aim of this article is to compare the influence of prepation methods and process temperature on the production effects and properties of zinc oxide thin films. Coducted experiments included investigations of structure, morphology and topography of deposited thin films as well as their optical and electrical properties. Tested ZnO thin films were prepared by magnetron sputtering and atomic layer deposition metods. Results of studies have shown that impact of the manufacturing method and process temperature on the analyzed properties is significant.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] Ali, H.M., H.A. Mohamed, S.H. Mohamed, (2005) “Enhancement of the optical and electrical properties of ITO thin films deposited by electron beam evaporation technique", The European Physical Journal Applied Physics 31: 87-93.
[2] Ellmer, Klaus, Andreas Klein, Bernd Rech, (2008) Transparent Conductive Zinc Oxide. Basics and Applications in Thin Film Solar Cells, Springer-Verlag Berlin Heidelberg.
[3] Hosono, H., H. Ohta, M. Orita, K. Ueda, M. Hirano, (2002) “Frontier of transparent conductive oxide thin films", Vacuum 66: 419-425.
[4] Ilican, S., M. Caglar, Y. Caglar, (2007) “Determination of the thickness and optical constants of transparent indium-doped ZnO thin films by the envelope method", Materials Science-Poland 25: 709-718.
[5] Nalwa, Hari S., (2002) Handbook of thin film materials Vol. 1, Deposition and processing of thin films, Academic Press, San Diego.
[6] Pinna, Nicola, Mato Knez, (2012) Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials, Wiley-VCH, Weinheim.
[7] Silva, Érica P. da, Michel Chaves, Steven F. Durrant, Paulo N. Lisboa-Filho, José R.R. Bortoleto, (2014) “Morphological and electrical evolution of ZnO:Al thin films deposited by RF magnetron sputtering onto glass substrates", Materials Research 17: 1384-1390.
[8] Wu, Hung W., Ru Y. Yang, Chin M. Hsiung, Chien H. Chu, (2013) “Characterization of aluminum-doped zinc oxide thin films by RF magnetron sputtering at different substrate temperature and sputtering power", Journal of Materials Science Materials in Electronics 41: 166-171.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 122608 "NANOMETRYCZNE WARSTWY TLE..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2019-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2019-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma