Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2019 - zeszyt 9

Wpływ struktury na właściwości elektryczne i optyczne cienkich warstw na bazie tlenków Ti i Hf

Impact of the thin films structure on electrical and optical properties of thin films based on a mixture of Hf and Ti oxides

10.15199/48.2019.09.22

nr katalogowy: 122079
10.15199/48.2019.09.22

Streszczenie

Celem niniejszej pracy było wytworzenie nanokrystalicznych oraz amorficznych cienkich warstw na bazie mieszaniny tlenków Ti i Hf metodą rozpylania magnetronowego. W ramach pracy przeprowadzono również szczegółową analizę wpływu struktury wybranych warstw na ich właściwości elektryczne takie jak gęstość prądu upływu oraz względna przenikalność elektryczna, a także właściwości optyczne w tym współczynnik ekstynkcji światła.

Abstract

The aim of this work was to prepare nanocrystalline and amorphous thin films based on a mixture of Hf and Ti oxides by magnetron sputtering. As a part of work, the detailed analysis of the impact of the thin films structure on their electrical properties such as leakage current density and dielectric constant and optical properties like extinction coefficient was carried out.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] Zhang J.W., He G., Chen H.S., Gao J., Chen X.F., Jin P., Xiao D.Q., Ma R., Liu M., Sun Z.Q., Modulation of charge trapping and current-conduction mechanism of TiO2-doped HfO2 gate dielectrics based MOS capacitors by annealing temperature, J. Alloy. Compd., 647 (2015) 1054-1060
[2] Zhang J.W., He G., Zho L., Chen H.S., Chen X.S., Chen X.F., Deng B., Lv J.G., Sun Z.Q., Microstructure optimization and optical and interfacial properties modulation of sputteringderived HfO2 thin films by TiO2 incorporatio", J. Alloy. Compd., 611 (2014) 253-259 114 PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY, ISSN 0033-2097, R. 95 NR 9/2019
[3] Jiang S.S., He G., Gao J., Xiao D.Q., Jin P., Li W.D., Lv J.G., Liu M., Liu Y.M., Sun Z.Q., Microstructure, optical and electrical properties of sputtered HfTiO high-k gate dielectric thin films, Ceram. Int., 42 (2016) 11640-11649
[4] Jin P., He G., Liu M., Xiao D.Q., Gao J., Chen X.F., Ma R., Zhang J.W., Zhang M., Sun Z.Q., Liu Y.M., Deposition power modulated optical and electrical properties of sputtering-derived HfTiOx gate dielectrics, J. Alloy. Compd., 649 (2015) 128-134
[5] Pokhriyal S., Biswas S., Doping dependent high-frequency dielectric properties of Hf1-xTixO2, Nanopart. Mater. Today: Proceed., 3 (2013) 1311-1319
[6] Gao J., He G., Zhang J.W., Deng B., Liu Y.M., Annealing temperature modulated interfacial chemistry and electrical characteristics of sputtering-derived HfO2/Si gate stack, J. Alloy. Compd., 647 (2016) 322-330
[7] Wilk G.D., Wallace R.M., Anthony J.M., High-k gate dielectrics: current status and materials properties considerations, J. Appl. Phys., 89 (2001) 1-33
[8] Gan F., Structure and properties of amorphous thin film for optical data storage", J. Non-Crystalline Solids, 354 (2008) 1089-1099
[9] Powder Diffraction File, Joint Committee on Powder Diffraction Standards, ASTM, Philadelphia, PA, PDF Card 34-0104
[10] Powder Diffraction File, Joint Committee on Powder Diffraction Standards, ASTM, Philadelphia, PA, PDF Card 21-1272
[11] Lanza M., A review on resistive switching in high-k dielectrics: a nanoscale point of view using conductive atomic force microscope, Materials, 7 (2014) 2155-2182

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 122079 "Wpływ struktury na właści..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2019-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2019-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma