Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2019 - zeszyt 7

WPŁYW STRUKTURY NA WŁAŚCIWOŚCI ELEKTRYCZNE ORAZ OPTYCZNE CIENKICH WARSTW NA BAZIE TLENKÓW TYTANU I MIEDZI

Influence of the structure on the electrical and optical properties of thin films based on the titanium and copper oxides

10.15199/13.2019.7.2

nr katalogowy: 121500
10.15199/13.2019.7.2

Streszczenie

W pracy przedstawiono wyniki badania wpływu struktury na właściwości elektryczne oraz optyczne cienkich warstw na bazie tlenków tytanu i miedzi. Cienkie warstwy tlenku miedzi oraz dwuwarstwy TiO2/CuxO o różnej grubości TiO2 na powierzchni CuxO były naniesione metodą rozpylania magnetronowego. Wytworzone dwuwarstwy TiO2/CuxO o różnej grubości TiO2 były nanokrystaliczne o jednoskośnej strukturze tlenku miedzi II (CuO). Średni rozmiar krystalitów był w zakresie od 10 nm do 14 nm. Stwierdzono, że rezystywność dla cienkiej warstwy CuO była równa 0,7·103 Ω·cm, natomiast dla struktur TiO2/CuO była w zakresie 0,8·103 ÷ 1,5·103 Ω·cm. W przypadku powłok dwuwarstwowych TiO2/CuO średnia wartość współczynnika transmisji światła wynosiła ponad 80%.

Abstract

This paper provides research investigation results and analysis of influence of the structure on electrical and optical properties of thin films based on the titanium and copper oxides. CuxO and TiO2/CuxO thin films with different thickness of top TiO2 layer coatings were deposited by the reactive magnetron sputtering method. TiO2/CuxO bilayers with different thickness of top TiO2 layer were nanocrystalline and had monoclinc structure of CuO. The crystallite sizes were in the range of 10 nm to 14 nm. It was found that the resistivity for the CuO film was equal to 0.7·103 Ω·cm, and for TiO2/CuO structures was in the range of 0.8·103 ÷ 1.5·103 Ω·cm. As-prepared bilayers were well transparent, average transparency was above 80%.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] Al.-Jawhari H. A., (2015) A review of recent advances in transparent p-type Cu2O-based thin film transistors, Materials Science in Semiconductor Processing, vol. 40, s. 241-252.
[2] Cai X., i in., (2015) The n-type conduction of indium-doped Cu2O thin films fabricated by direct current magnetron co-sputtering, Applied Physics Letters, vol. 107.
[3] Raship N.A., (2017) Effect of annealing temperature on the properties of copper oxide films prepared by dip coating technique, AIP Conference Proceedings, vol. 1788.
[4] Khojier K., i in., (2012) Annealing temperature effect on nanostructure and phase transition of copper oxide thin films, International Journal of Nano Dimension, vol. 2, s. 185-190.
[5] A. Rydosz, i.in., (2018) CuO and CuO/TiO2-y thin-film gas sensors of H2 and NO2, 2018 XV International Scientific Conference on Optoelectronic and Electronic Sensors (COE).
[6] Maziarz W., i in., (2019) TiO2/SnO2 and TiO2/CuO thin film nano- heterostructures as gas sensors, Applied Surface Science, vol. 480, s. 361-370.
[7] Moumena A., i in., (2019) Preparation and characterization of nanostructured CuO thin films using spray pyrolysis technique, Superlattices and Microstructures, vol. 127, s. 2-10.
[8] Sun B., i in., (2015) White-light-controlled resistive switching characteristics of TiO2/Cu2O composite nanorods array, Chemical Physics, vol. 457, s. 28-31.
[9] Wang Y., i in., (2014) Transmittance enhancement and optical band gap widening of Cu2O thin films after air annealing, Journal Applied Physics, vol. 115.
[10] Lee J.H., i in., (2018) CuO-TiO2 p-n core-shell nanowires: sensing mechanism and p/n sensing-type transition, Applied Surface Science, vol. 448, s. 489-497.
[11] Deng J., i in., (2014) Design of CuO-TiO2 heterostructure nanofibers and their sensing performance.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 121500 "WPŁYW STRUKTURY NA WŁAŚCI..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2019-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2019-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma