Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2018 - zeszyt 7

Analiza właściwości strukturalnych oraz powierzchni cienkiej warstwy mieszaniny tlenków (Ti-Cu) Ox z liniowym gradientem rozkładu pierwiastków

Analysis of the structural and surface properties of thin film layer based on the mixture of (Ti-Cu)Ox oxides with the linear gradient element distribution

10.15199/13.2018.7.7

nr katalogowy: 115068
10.15199/13.2018.7.7

Streszczenie

Niniejsza praca przedstawia wyniki badań powierzchni oraz struktury cienkich warstw (Ti-Cu)Ox wytworzonych metodą rozpylania magnetronowego. Cienkie warstwy zostały wytworzone w takie sposób, aby uzyskać gradientową zmianę koncentracji miedzi w funkcji grubości osadzonej warstwy. Analiza powierzchni wykazała, że wytworzone warstwy były jednorodne oraz wykazywały chropowatość na poziomie kilku nanometrów. Przeprowadzone analizy potwierdziły zadany liniowy gradient rozkładu miedzi w całej objętości cienkiej warstwy. Badania wykonane za pomocą transmisyjnego mikroskopu elektronowego wykazały, że warstwa zbudowana była z cienkiego, około 30 nm obszaru amorficznego przy podłożu oraz ze znacznie szerszego, około 280 nm obszaru, w którym obserwowano wzrost kolumnowy.

Abstract

The present paper shows the results of surface investigations of the (Ti-Cu)Ox thin film layer fabricated by the magnetron sputtering. Thin films were prepared in order to achieve gradient change of the cooper concentration in the function of the thickness of the deposited layers. Analysis of the surface showed, that deposited films were homogenous and the roughness value were at the range of few nanometers. Conducted analysis of the films proved the linear gradient distribution of the cooper in the volume of the thin films. The measurements conducted with the help of transmission electron microscope showed, that the layer was composed from thin, ca. 30 nm thick amorphous area near the substrate and much larger, ca. 280 nm, where the fibrous grow was observed.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] Udupa G., Shrikantha Rao S., Gangadharan K.V., (2014) Functionally graded Composite materials: An overview, Procedia Materials Science 5, pp. 1291-1299.
[2] Chmielewski M., Pietrzak K., (2016) Metal-ceramic functionally graded materials - manufacturing, characterization, application, Bulletin of the Polish Academy of Sciences Technical Sciences 64(1).
[3] Kelly P. J., Arnell R. D., (2000) Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications, Vaccum, vol. 56 (3), pp. 159-172.
[4] Adamiak B., Dora J., Kaczmarek D., Domaradzki J., Wojcieszak D., Mazur M., (2009) Magnetron Sputtering System with Multi- targets for Multilayers Deposition, 2009 International Students and Young Scientists Workshop "Photonics and Micorsystems“, Wernigerode, Germany, pp. 7-9.
[5] Raman P., Shchelkanov I. A., McLain J., Ruzic D. N., (2015) High power pulsed magnetron sputtering: A method to increase deposition rate, Journal of Vacuum Science & Technology A 33 (031304).
[6] Mazur M., Domaradzki J., Wojcieszak D., Kaczmarek D., (2018) Investigations of elemental composition and structure evolution in (Ti,Cu)-oxide gradient thin films prepared using (multi)magnetron co-sputtering, Surface & Coatings Technology 334, pp. 150-157.
[7] Safeen K., Micheli V., Bartali R., Gottardi G., Safeen A., Ullah H., Laidani N., (2018) Influence of intrinsic defects on the electrical and optical properties of TiO2:Nb films sputtered at room temperature, Thin Solid Films 645, pp. 173-179.
[8] Schmidt H., Naumann M., Muller T.S., Akarsu M., (2006) Application of spray techniques for new photocatalytic gradient coatings on plastics, Thin Solid Films 502, pp. 132-137.
[9] Domaradzki J., Kotwica T., Mazur M., Kaczmarek D., Wojcieszak D., (2018) Memristive properties of transparent oxide semiconducting (Ti,Cu)Ox-gradient thin film, Semiconductor Science and Technology 33 (015002).
[10] Xu X., Gao Z., Cui Z., Liang Y., Li Z., Zhu S., Yang X., Ma J., (2016) Synthesis of Cu2O Octadecahedron/TiO2 Quantum Dot Heterojunctions with High Visible Light Photocatalytic Activity and High Stability, ACS Applied Materials & Interfaces 8(1), pp. 91-101.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 115068 "Analiza właściwości struk..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2018-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2018-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma