Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2018 - zeszyt 7

Analiza właściwości antystatycznych mieszanin tlenków Hf oraz Ti o małej zawartości tytanu

Analysis of antistatic properties of mixed Ti and Hf oxides with low Ti content

10.15199/13.2018.7.6

nr katalogowy: 115067
10.15199/13.2018.7.6

Streszczenie

W pracy przedstawiono wyniki badań właściwości antystatycznych cienkich warstw mieszanin tlenków tytanu (TiO2) oraz hafnu (HfO2). Warstwy naniesione zostały w procesie rozpylania magnetronowego na podłoża z krzemionki amorficznej (SiO2). Otrzymano warstwy HfO2 oraz HfO2 z dodatkiem Ti w ilości 4% at., 13% at. oraz 28% at. Pomiary metodą XRD wykazały, że warstwy miały nanokrystaliczną strukturę, a średni rozmiar krystalitów wyniósł ok. 6 nm. Najmniejszą rezystywnością cechowała się warstwa HfO2, największą zaś warstwa o zawartości 28% at. Ti. Wzrost zawartości atomowej tytanu w warstwie powodował zwiększenie rezystywności warstwy. Zmierzono czasy rozpraszania ładunku statycznego z powierzchni warstw przy polaryzacji ładunkiem dodatnim o napięciu 7 kV. Najkrótszy czas rozpraszania ładunku do 10% wartości początkowej uzyskano dla warstwy HfO2, a najdłuższy dla warstwy zawierającej 28% at. Ti. Korelacja wyników pozwoliła na zaobserwowanie, że wraz ze wzrostem rezystywności warstw wydłużał się czas rozpraszania ładunku.

Abstract

In this paper antistatic properties of mixed titanium and hafnium oxides were investigated. Thin films of mixtures were deposited on SiO2 substrates using magnetron sputtering processes. XRD results showed that investigated thin films had nanocrystalline structure. Crystallites size was equal to ca. 6 nm for all samples. The lowest resistivity was obtained for hafnia thin film and the highest for HfO2 with 28 at. % of Ti. Results showed that resistivity increased with the amount of Ti in mixed oxides. Static charge dissipation time measurements were analyzed. Dissipation time increased with an increase of Ti amount. Results demonstrated in this paper showed a good corellation beetwen charge decay time and resistivity of investigated thin films. Decay times increased alongside of resistivity value.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] Chubb J., Walmsley H., (2010) "Analysis of long corona charge decay times", Journal of Electrostatics 68, s. 284-286.
[2] Chubb J., (2010) "Electrical Engineering Developments : An Introduction to Electrostatic Measurements", Sierpień .
[3] Mazur M., Prociów E., Domaradzki J., Kaczmarek D., Karnicka M., Bieliński L., (2010) "Humidity influence on antistatic properties of optical coatings", 33rd Int. Spring Seminar on Electronics Technology.
[4] He H., Yan Y., Qiu Z., Tan X., (2017) "A novel antistatic polyurethane hybrid based on nanoscale ionic material", Progress in Organic Coatings 113, s. 110-116.
[5] Fan J., Tao Ch., Jiang T., (2013) "Failure analysis on antistatic coatings on radome", Engineering Failure Analysis 35, s. 618-624.
[6] Yuan X., Xu W., Huang F., Chen D., Wei Q., "Polyester fabric coated with Ag/ZnO composite film by magnetron sputtering", Applied Surface Science 390, 2016, s. 863-869
[7] Luo Ch., Zhou L., Chiou K., Huang J., (2018) "Multifunctional Graphene Hair Dye", Chem 4, 12 kwietnia 2018, s. 1-11.
[8] Sakane Y., Suzuki Y., Kasagi N., (2007) "High-Performance Perfluorinated Polymer Electret Film For Micro Power Generation", s. 53-56.
[9] Kashiwagi K., Okano K., Morizawa Y., Suzuki Y., "Nano-cluster-enhanced High-performance Perfluoro-polymer Electrets for Micro Power Generation", 14th International Symposium.
[10] Yuan N., Li J., (2005) "SiO2 film electret with high surface potential stability", Applied Surface Science 252, s. 455-460.
[11] Mazur M. i in., (2017) "Investigation of various properties of HfO2- TiO2 thin film composites deposited by multi-magnetron sputtering system" Applied Surface Science 421, s. 170-178.
[12] Chubb J., (2008) "User Manual: JCI 176 Charge Measuring Sample Support", nr 10, Listopad.
[13] Chubb J., (2009) "User Manual: JCI 155v5 Charge Decay Test Unit", Sierpień.
[14] Chubb J., (2008) "User Manual: JCI 191 Controlled Humidity Test Chamber", nr 11, Kwiecień.
[15] Ingham B., Toney M.F., (2014) "X-ray diffraction for characterizing metallic films", Metallic Films for Electronic, Optical and Magnetic Applications, s. 3-38.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 115067 "Analiza właściwości antys..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2018-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2018-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma