Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2018 - zeszyt 5

Re-crystallization of Silicon during Rapid Thermal Treatment

Rekrystalizacja krzemu podczas szybkiej obróbki termicznej

10.15199/48.2018.05.35

nr katalogowy: 113579
10.15199/48.2018.05.35

Streszczenie

It is by means of the Auger-spectroscopy, spectral ellipsometry, X-ray diffraction that for the first time an opportunity was shown of applying the rapid thermal treatment for removal of the disrupted layer on the working surface of the silicon wafers after the chemical-mechanical polishing owing to its solid-phase re-crystallization.

Abstract

Dzięki użyciu spektroskopii Augera, elipsometrii spektralnej oraz dyfrakcji rentgenowskiej po raz pierwszy przedstawiona została możliwość zastosowania szybkiego termicznego usuwania uszkodzonej warstwy na powierzchni roboczej wafli silikonowych, powstałych po chemiczno-mechanicznym polerowaniu, za pośrednictwem jego rekrystalizacji w fazie stałej.

Słowa kluczowe

Keywords

Bibliografia

[1] Q.-Y.Tong, M. Gosel, Wafer bonding fnd layer splitting for Microsystems, Adv. Mater. 11 (17), (1999), 1409-1425.
[2] G.Ya. Krasnikov, N.A. Zaitsev, Physical-Technological Fundamentals of Ensuring Quality of VLSIs M. “Micron-print". 1999.
[3] Yu.A. Kontsevoy, Yu.M. Litvinov, E.A. Fattakhov, Plasticity and Strength of the Semiconductor Materials and Structures M.: Radio and Communications, 1982.
[4] V.A. Pilipenko, V.A. Gorushko, V.N. Ponomar, Cleaning the Surface of the Silicon Structures in the VLSI Technology, IFZh, 76 (5), 2003, 103.
[5] V.I. Gavrilenko, A.M. Grekhov, D.V. Korbutyak, V.G. Litovchenko, Optical Properties of Semiconductors Reference Book, Kiev: Navukova dumka, 1987, p. 608.
[6] I.S. Pankratov, R.P. Seysyan, A.A. Shorokhov, Investigation of the Direct Optical transitions in the Silicon Monocrystals as per the Transmission Spectra, Letters to ZhTF 38 (13), (2012), 1-7.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 113579 "Re-crystallization of Sil..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2018-5 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2018-5

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma