Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2015 - zeszyt 9

Badanie wpływu naprężeń mechanicznych na wartość napięcia wyprostowanych pasm w półprzewodniku w strukturze MOS

10.15199/13.2015.9.14

Krzysztof Piskorski

nr katalogowy: 93957
10.15199/13.2015.9.14

W trakcie wytwarzania struktury MOS na skutek różnicy w wartościach współczynników rozszerzalności cieplnej materiałów metalowej bramki i dielektryka, w dielektryku pod powierzchnią bramki powstają naprężenia mechaniczne [1, 2]. Naprężenia te mają nierównomierny kształt rozkładu, który uwidacznia się w przejściu z naprężeń ściskających panujących w centralnej części pod powierzchnią bramki w naprężenia rozciągające w pobliżu jej krawędzi, co schematycznie pokazano na rys. 1.W wyniku wielu prac stwierdzono [1, 3, 4], że naprężenia mechaniczne wpływają na wartości niektórych parametrów elektrycznych struktury MOS. Do parametrów tych należą m.in. efektywna kontaktowa różnica potencjałów ϕMS, napięcie wyprostowanych pasm w dielektryku VG0 i półprzewodniku VFB oraz wysokość bariery potencjału na granicy bramka-dielektryk EBG. W pracach [5-9] przedstawiono wyniki fotoelektrycz-nych pomiarów parametrów ϕMS, VG0 i EBG przy użyciu małej plamki światła skupionej na niewielkim obszarze półprzezroczystej bramki. Zmierzone w ten sposób wartości lokalne tych parametrów są największe na środku kwadratowej bramki, mniejsze na jej krawędziach oraz najmniejsze na jej rogach. Przykłady pomiarów lokalnych wartości napięcia VG 0 (napięcie, dla którego w strukturze nie płynie fotoprąd) wykonanych na strukturach o różnej grubości aluminiowej bramki (tAl = 400 i 35 nm) pokazano na rys. 2. Na podstawie dużej liczby pomiarów rozkładów napięcia VG 0 (a także parametrów ϕMS, VG0 oraz EBG) na strukturach o różnej grubości bramki wyłaniają się następujące wnioski: - amplituda zmian wartości VG 0 (różnica pomiędzy wartością największą na środku a najmniejszą na rogu struktury bądź środku krawędzi) dla pomiaru wykonanego wzdłuż prostej przechodzącej przez środek struktury i równoległej do jej krawędzi jest mniejsza niż amplituda otrzymana dla pomiaru wzdłuż przekątnej struktury. Jest tak, gdyż lokalne wartości napięcia VG 0 na rogach bra[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 113436 "Część 2: Strategia i mark..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY - e-zeszyt (pdf) 2018-5 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	21.50 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

264.00 zł

PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY - papierowa prenumerata roczna	336.00 zł brutto 311.11 zł netto 24.89 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

378.00 zł

PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	432.00 zł brutto 400.00 zł netto 32.00 zł VAT (stawka VAT 8%)

432.00 zł

Zeszyt

2015-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma