Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2017 - zeszyt 5

Two-dimensional modeling RF glow discharge at low pressure

10.15199/48.2017.05.08

nr katalogowy: 105422
10.15199/48.2017.05.08

This paper presents a contribution to understand the fundamental properties of RF glow discharge based on numerical modeling. A fluid model with two dimensional based on the first three moments of Boltzmann equation, coupled with Poisson’s equation is used in this work. This equation system is written in cylindrical coordinates following the geometric shape of a plasma reactor. Our transport equation system is discretized using the finite volume approach and resolved by the exponential implicit scheme. In this work, we are used the time splitting method to resolve our system. The model allows us to obtain the axial and radial distributions parameters of the discharge at different times of Radio-Frequency cycle (RF). The principal parameters are the electronic density, ionic density, electric potential, electric field and electronic temperature. Streszczenie. W artykule analizowane jest numerycznie wyładowanie jarzeniowe RF przy niskim ciśnieniu. Wykorztano model Płynu Dwuwymiarowego oparty na pierwszych trzech momentach w rówananiu Boltzmanna, w połączeniu z równania Poissona. Ten układ równań opisana we współrzędnych walcowych w reaktorze plazmowym. Określono główne parametry gęstości elektronowej, gęstości jonowej, potencjał elektryczny, pole elektryczne. Dwuwymiarowe modelowanie wyładowania jarzeniowego RF przy niskim ciśnieniu) Keywords: RF glow Discharge, Fluid Model, charged particle transport, time splitting method. Slowa kluczowe: wyładowanie jarzeniowe RF, model cieczy, metoda dzielenie czasu Introduction RF glow discharges are used in a wide variety of applications in modern science and technology [1]. One of the largest and most important fields of application is the microelectronics industry, where RF glow discharges are used for etching of surfaces to form topographical surface features, as well as for depositing thin films. Similarly, glow discharges are used extensively in the materials processing industries for dep[...]

Bibliografia

[1] A. Bogaerts, The glow discharge: an exciting plasma, J. Anal. At. Spectrom. 14 (1999) 1375-1384
[2] Yu Qian, Deng Yong Feng, Numerical study on characteristics of argon-radiofrequency glow discharge with varying gas pressure, Chin.Phys.Lett. Vol. 25(2008), No. 7,2569
[3] M.H. Elghazaly, S. Solyman, Electron impact ionization and excitation rate coefficients in the negative glow region of a glow discharge, journal of Quantitative Spectroscopy & radiative Transfert 103(2007),260-271
[4] B. Kraloua, A. Hennad, Multidimentional numerical simulation of glow discharge by using the N-BEE-Time splitting method, Plasma Science and Technology, Vol.14, Sep(2012), No.9
[5] A. Luque, U. Ebert, Densitymodels for streamer discharges: Beyond cylindrical symmetry and homogeneous media, Journal of Computational Physics 231 (2012) 904-918
[6] L. Scharfetter, H. K. Gummmel, IEEE Trans. Electron Devices, 64(1969), No.16
[7] M. Meyyappan, J P. Kreskovsky, J. Appl. Phys ,68, 1506, 1990
[8] C. Lee, D.B. Graves, M.A. Lieberman, et al. 1994, J.Electrochem, Soc., 141: 1546
[9] I. Lee, D.B. Graves, Lieberman M A. 2008, Plasma Sources Sci. Technol. 17: 015018
[10] N. Benaired, A. Hennad, ADBQUICKEST Numerical Scheme for Solving Multi-Dimensional Drift-Diffusion Equations, PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY, ISSN 0033-2097, R. 90 NR 8/2014
[11] D. B, Graves, J. Appl. Phys. 62,88 (1987).
[12] H. Tebani, A. Hennad, three-dimensional modelling of the DC glow discharge using the second order fluid model, PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY, ISSN 0033-2097, R. 89 NR 8/2013
[13] Sang-Kyu Park and Demetre J. Economou . Appl. Phys. 68, 3904 (1990).

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 105422 "Two-dimensional modeling ..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2017-5 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2017-5

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma