Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2012 - zeszyt 9

Dobór parametrów procesu wytwarzania sprzęgaczy siatkowych struktur fotonicznych przy zastosowaniu techniki trawienia skupioną wiązką jonową

nr katalogowy: 70984

W niniejszym artykule zaprezentowany został sposób wytwarzania specjalnych struktur fotonicznych, umożliwiających wprowadzanie światła do ścieżek optycznych układów scalonych, przy zastosowaniu techniki trawienia skupioną wiązką jonową (FIB). Atrakcyjność tej metody wynika z faktu, że średnica wiązki jonowej jest mniejsza niż 10 nm, co umożliwia wytwarzanie struktur o rozmiarach rzędu kilkuset nanometrów, bez konieczności stosowania wieloetapowego procesu fotolitografii z użyciem kosztownych masek [1]. Wykorzystywane w obszarze fotoniki zintegrowanej planarne struktury falowodowe, ze względu na niewielki przekrój poprzeczny, cechują się bardzo dużym stopniem integracji. Pojawia się jednak problem połączenia nanofotonicznych obwodów krzemowych (o wymiarach ok. 200 × 500 nm) z wielokrotnie większym światłowodem, którego standardowe wymiary to 10 × 10 μm. Aby zminimalizować straty światła przy takim połączeniu, należy znaleźć sposób rozwiązania tego problemu [2, 3]. Jednym z obiecujących pomysłów jest wykorzystanie w tym celu struktur fotonicznych ze sprzęgaczami siatkowymi. Sprzęgacze siatkowe Sprzęgacze siatkowe, to struktury dyfrakcyjne służące do wprowadzania światła ze światłowodu do ścieżek optycznych obwodów nanofotonicznych. Wykonane są one w postaci periodycznych zaburzeń współczynnika załamania na powierzchni warstwy falowodowej [1]. Pionowe sprzęgacze siatkowe Typowe sprzęgacze siatkowe (rys. 1a) składają się z płytkich szczelin wytrawionych w krzemowej warstwie falowodowej, prostopadle do jej powierzchni. Choć wykorzystanie tego typu struktur jest niezwykle obiecującym sposobem łączenia światłowodów z nanofotonicznymi obwodami krzemowymi, to zarówno wyniki symulacji, jak i przeprowadzonych do tej pory eksperymentów świadczą o konieczności udoskonalenia tej metody. Maksymalna efektywność połączenia, jaką uzyskano przy wykorzystaniu pakietu MEEP (Mit Electromagnetic Equation Propagation) przeznaczonego do symu[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 103329 "Analiza jakości zarządzan..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PROBLEMY JAKOŚCI - e-zeszyt (pdf) 2017-1 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	31.00 zł
PROBLEMY JAKOŚCI - e-zeszyt (pdf) 2017-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	31.00 zł
PROBLEMY JAKOŚCI - e-zeszyt (pdf) 2017-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	31.00 zł
PROBLEMY JAKOŚCI - e-zeszyt (pdf) 2017-12 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	31.00 zł

Prenumerata

PROBLEMY JAKOŚCI - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

372.00 zł

PROBLEMY JAKOŚCI - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PROBLEMY JAKOŚCI - papierowa prenumerata roczna	420.00 zł brutto 388.89 zł netto 31.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PROBLEMY JAKOŚCI - pakowanie i wysyłka	21.00 zł brutto 17.07 zł netto 3.93 zł VAT (stawka VAT 23%)

441.00 zł

PROBLEMY JAKOŚCI - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PROBLEMY JAKOŚCI - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	561.00 zł brutto 519.44 zł netto 41.56 zł VAT (stawka VAT 8%)

561.00 zł

Zeszyt

2012-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma