Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2016 - zeszyt 8

Technologia cienkich warstw tlenku cynku o kontrolowanych własnościach strukturalnych, transportowych i optycznych

10.15199/13.2016.8.12

nr katalogowy: 100443
10.15199/13.2016.8.12

W ramach artykułu zaprezentowaliśmy wyniki prac dotyczących kontroli struktury, morfologii, własności transportowych i optycznych cienkich warstw tlenku cynku (ZnO) wytwarzanych na drodze magnetronowego rozpylania katodowego. Wykorzystując zaawansowany reaktor rozpylania katodowego umożliwiający kontrolę parametrów procesu osadzania takich, jak temperatura podłoża, przepływ gazów, ciśnienie gazów, moc podawana na katody pokazujemy jaką rolę odgrywają poszczególne parametry w kontroli własności wytwarzanego materiału. Prezentujemy zarówno badania z zakresu podstawowego dotyczące domieszkowania monokrystalicznych cienkich warstw ZnO przy pomocy akceptorów Ag, jak i badania stosowane dotyczące inżynierii przerwy energetycznej w celu opracowania przezroczystych elektrod dla diod elektroluminescencyjnych UV czy prace nad wzrostem nanoporowatego ZnO dla zastosowań w czujnikach gazowych, biochemicznych oraz urządzeniach do magazynowania energii. Słowa kluczowe: Tlenek cynku, ZnO, magnetronowe rozpylanie katodowe, przezroczysta elektronika, czujniki, sensory.Rozwój przezroczystej elektroniki, fotowoltaiki i optoelektroniki przyczynił się do intensyfikacji poszukiwań materiałów o własnościach preferowanych do takich zastosowań. W szczególności są to szeroka przerwa energetyczna, wysoka wydajność emisji światła czy możliwość kontroli rodzaju i stopnia przewodnictwa. Tlenek cynku (ZnO) jest półprzewodnikiem o przerwie energetycznej równej 3,4 eV, wysokiej energii wiązania ekscytonów (60 meV), charakteryzującym się łatwością domieszkowania na typ n oraz perspektywami skutecznego domieszkowania na typ p. Z tych względów, a także dlatego, że może on być wytwarzany w postaci cienkich warstw z wykorzystaniem wielu technik eksperymentalnych - od technik epitaksjalnych jak epitaksja z wiązek molekularnych (ang. molecular beam epitaxy, MBE) po chemiczne techniki krystalizacji z roztworów - ZnO stał się przedmiotem licznych badań. Dodatkowo możli[...]

Bibliografia

[1] E. Kaminska, A. Piotrowska, J. Kossut, R. Butkute, W. Dobrowolski, K. Golaszewska, A.Barcz, R. Jakieła, E. Dynowska, E. Przezdziecka, D. Wawer, (2004) Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 786 E6.1.1/
[2] E. Kaminska, A. Piotrowska, J. Kossut, R. Butkutė, W. Dobrowolski, R. Lukasiewicz, A. Barcz, R. Jakiela, E. Dynowska, E. Przezdziecka, M. Aleszkiewicz, P. Wojnar and E. Kowalczyk, (2005) phys. stat. sol. C 2 1119.
[3] E. Przezdziecka, E. Kaminska, I. Pasternak, A. Piotrowska, J. Kossut, (2007) Phys. Rev. B 76, 193303.
[4] E. Kaminska, I. Pasternak, P. Boguslawski, A. Jezierski, E. Dynowska, R.Jakiela, E. Przezdziecka, A. Piotrowska, J. Kossut, (2010) AIP Conf. Proc. 1199 120.
[5] O. Volnianska, P. Boguslawski and E. Kaminska, (2012) Phys. Rev. B 85 165212.
[6] M.A. Borysiewicz, (2013) rozprawa doktorska p.t. "Magnetron sputter deposition of electronic functional materials: MAX phases for ohmic contacts and thin ZnO films for transparent electronics", Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa.
[7] M.A. Borysiewicz, M. Wzorek, K. Gołaszewska, R. Kruszka, K.D. Pągowska and E. Kamińska, (2015) "Nanocrystalline sputter-deposited ZnMgO:Al transparent p-type electrode in GaN-based 385 nm UV LED for significant emission enhancement", Materials Science and Engineering B 200 93-98.
[8] M.A. Borysiewicz, E. Dynowska, V. Kolkovsky, J. Dyczewski, M. Wielgus, E. Kamińska, A. Piotrowska, (2012) Phys. Status Solidi A 209, No. 12, 2463-2469.
[9] M.A. Borysiewicz, A. Baranowska-Korczyc, M. Ekielski, M. Wzorek, E. Dynowska, T. Wojciechowski, E. Kamińska, K. Fronc, D. Elbaum, T. Wojtowicz and A. Piotrowska, (2013) MRS Proceedings, 1552 doi:10.1557/opl.2013.580
[10] M. Borysiewicz, M. Wzorek, K. Gołaszewska, E. Kamińska, A. Piotrowska, E. Dynowska, T. Wojciechowski, R. Jakieła, T. Wojtowicz, P. Struk, T. Pustelny, (2014) Cienkie warstwy ZnO wytwarzane techniką magnetronowego rozpylania katodowego: mikrostruktura i funkcjonalność, Elektronika 9, str. 16-19.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 100443 "Technologia cienkich wars..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2016-8 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2016-8

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma