Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2016 - zeszyt 8

Zastosowanie zogniskowanej wiązki jonów (FIB) do tworzenia, modyfikacji i charakteryzacji struktur elektronicznych i fotonicznych

10.15199/13.2016.8.10

nr katalogowy: 100441
10.15199/13.2016.8.10

Zogniskowana wiązka jonów (Focused Ion Beam - FIB) stanowi uniwersalne narzędzie tworzenia, modyfikacji i badania mikro- i nanostruktur elektronicznych i fotonicznych. Umożliwia trawienie wzorów oraz nanoszenie warstw metalicznych i dielektrycznych z bardzo wysoką rozdzielczością przestrzenną. Wiązka jonowa może służyć do unikalnego obrazowania preparatów niemożliwego w skaningowej mikroskopii elektronowej. Przedstawiono wyniki własnych badań, w których dobranie parametrów prądu wiązki i przebiegu skanowania pozwoliło na unikalne wykorzystanie możliwości oferowanych przez FIB, w tym rozdzielczości trawienia i depozycji rzędu 10 nm. Udokumentowano je przykładowymi zastosowaniami zaawansowanych technik FIB. Słowa kluczowe: FIB, technologia połprzewodnikowa, mikroskopia jonowa.Zogniskowana wiązka jonów (ang. Focused Ion Beam - FIB) jest uniwersalnym narzędziem technologiczno-charakteryzacyjnym służącym do badania i obróbki różnego rodzaju materiałów i struktur z wysoką rozdzielczością przestrzenną sięgającą pojedynczych nanometrów [1]. Kolumna emitująca i formująca wiązkę jonową jest zwykle wbudowywana w skaningowy mikroskop elektronowy (ang. Scanning Electron Microscope - SEM), co pozwala na obrazowanie preparatów przed i w trakcie obróbki jonowej. W celu nanoszenia warstw metalicznych lub dielektrycznych i selektywnego trawienie wybranych materiałów (np. zawierających węgiel) urządzenia SEM-FIB wyposaża się też w systemy dozowania prekursorów gazowych (ang. Gas Injection System - GIS). Instaluje się też mikromanipulatory w celu przenoszenia elementów lub elektrycznych pomiarów. Źródłem jonów są typowo emitery galowe typu LMIS (ang. Liquid Metal Ion Source), w których zachodzi emisja polowa jonów Ga+ [2]. Dalsze formowanie wiązki jonowej jest podobne do formowania wiązki elektronowej w SEM [3]. Oprócz wysokiej rozdzielczości przestrzennej, zaletami procesów technologicznych wykonywanych z użyciem FIB są: uzyskiwanie gotowej st[...]

Bibliografia

[1] M. Płuska, A. Czerwiński, M. Wzorek, M. Juchniewicz, J. Kątcki: (2015), Identification and Reduction of Acoustic-Noise Influence on Focused Ion Beam (FIB), Nuclear Instruments & Methods in Physics Res. B, Vol. 348, pp. 106-110.
[2] J.J. Van Es, J. Gierak, R.G. Forbes, V.G. Suvorov, T. Van den Berghe, Ph. Dubuisson, I. Monnet, A. Septier: (2004), An improved gallium liquid metal ion source geometry for nanotechnology, Microelectronic Engineering, Vol. 73-74, pp. 132-138.
[3] S. Reyntjens, R. Puers: (2001), A review of focused ion beam applications in microsystem technology, J. Micromech Microeng, Vol. 11, No. 4, pp. 287-300.
[4] A. Czerwiński, A. Skwarek, M. Płuska, J. Ratajczak, K. Witek: (2013), Whisker Growth in Tin Alloys on Glass-Epoxy Laminate Studied by Energy-Dispersive X-Ray Spectroscopy, Archives of Metallurgy and Materials, Vol. 58, No. 2, pp. 413-417.
[5] M. Ekielski, M. Juchniewicz, M. Płuska, M. Wzorek, E. Kamińska, A. Piotrowska: (2015), Nanometer Scale Patterning of GaN Using Nanoimprint Lithography and Inductively Coupled Plasma Etching, Microelectronic Engineering, Vol.133, pp. 129-133.
[6] A. Czerwiński, M. Płuska, A. Łaszcz, J. Ratajczak, K. Pierściński, D. Pierścińska, P. Gutowski, P. Karbownik, M. Bugajski: (2015). Formation of Coupled-Cavities in Quantum Cascade Lasers Using Focused Ion Beam Milling,Microelectronics Reliability, Vol. 55, No. 9-10, (2015), pp. 2142-2146.
[7] K. Pierściński D. Pierścińska, M. Płuska, P. Gutowski, I. Sankowska, P. Karbownik, A. Czerwiński, M. Bugajski: (2015), Room Temperature, Single Mode Emission from Two-Section Coupled Cavity InGaAs/AlGaAs/GaAs Quantum Cascade Laser, Journal of Applied Physics, Vol. 118, p. 133103.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 100441 "Zastosowanie zogniskowane..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2016-8 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2016-8

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma