Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2016 - zeszyt 8

Piezorezystywna nanosonda AFM/SThM do badań termicznych w nanoskali

10.15199/13.2016.8.5

nr katalogowy: 100436
10.15199/13.2016.8.5

Pomimo bardzo dynamicznego rozwoju technologii wytwarzania nanostruktur i nanoprzyrządów (np. struktur grafenowych, czy też tranzystorów o głęboko submikronowych rozmiarach) wciąż brakuje uniwersalnych i wielofunkcyjnych narzędzi do analizy zjawisk w nanoskali. Dostępne techniki bazujące na mikroskopii sił atomowych (Atomic Force Microscopy - AFM) umożliwiają z reguły monitorowanie jednego typu parametrów: mechanicznych, termicznych lub elektrycznych. W publikacji przedstawiono rezultaty prac badawczych, których celem było opracowanie mikrodźwigni krzemowych z piezorezystywną detekcją ugięcia, wyposażonych w przewodzące ostrze platynowe. Do wytworzenia struktur sondy wykorzystano typowe procesy mikrotechnologii krzemowej oraz technikę FIB (Focused Ion Beam), która pozwala zredukować promień krzywizny ostrza do wartości mniejszych od 100 nm. Opracowany przyrząd umożliwia zarówno analizę topografii powierzchni oraz jej charakteryzację termiczną i jest użytecznym narzędziem do pomiarów mikro- i nanostruktur elektronicznych. Konstrukcja przyrządu pozwala na jego łatwą integrację z mikro- lub nanomanipulatorami oraz instalację w komorze próżniowej skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM). Takie rozwiązanie umożliwia dokładną obserwację charakteryzowanej struktury oraz lokalizację sondy na jej powierzchni z nanometrową dokładnością w obszarze skanowania rzędu kilku centymetrów kwadratowych. Jest to niezwykle użyteczne przy analizie próbek o dużych rozmiarach. W publikacji przedstawiono rezultaty pomiarów termicznych na powierzchni mikro- i nanoprzyrządów elektronicznych przeprowadzonych przy użyciu przedstawionego systemu mikroskopu termicznego. Słowa kluczowe: nanometrologia, Mikroskopia Sił Atomowych, Skaningowa Mikroskopia Termiczna, czujniki piezorezystywne.Zasada działania mikroskopu z sondą skanującą SPM (ang. Scanning Probe Microsopy) polega na monitorowaniu oddziaływań między nanoostrzem, a badaną powierzchnią. Bardzo mał[...]

Bibliografia

[1] T. Gotszalk, P.Grabiec, I. Rangelow, Piezoresistive sensors for scanning probe microscopy, Ultramicroscopy, 82, 39, 2000.
[2] G. Wielgoszewski, P. Sulecki, T. Gotszalk, P. Janus, D. Szmigiel, and P. Grabiec, E. Zschech, Microfabricated resistive high-sensitivity nanoprobe for scanning thermal microscopy, J. Vac. Sci. Technol., B 28, 6, 2010.
[3] G. Wielgoszewski, P. Sulecki, P.Janus, P. Grabiec, E. Zschech, T. Gotszalk, A high-resolution measurement system for novel scanning thermal microscopy resistive nanoprobes, Measurement Science and Technology, 22, 9, 094023, 2011.
[4] I.W. Rangelow, T. Gotszalk, P. Grabiec, K. Edinger, N. Abedinov, Thermal nano-probe, Microelectronic Engineering s 57-58:737- 748 737-748, 2000
[5] J. L. Hutter, J. Bechhoefer, Calibration of atomic-force microscope tips, Rev. Sci. Instrum. 64 (7), July 1993
[6] M. Zaborowski, D. Tomaszewski, A. Panas, P. Grabiec, “Double- fin FETs based on standard CMOS approach" Microelectronic Engineering Vol. 87, Issue: 5-8, May - August, 2010, pp. 1396-9.

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 100436 "Piezorezystywna nanosonda..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2016-8 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2016-8

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma