Wyniki 11-11 spośród 11 dla zapytania: authorDesc:"ARTUR WIATROWSKI"

Próżniowe otrzymywanie cienkich warstw na wielkogabarytowych, szklanych podłożach. Część 2 - linia przesyłowa


  Przemysłowe linie osadzania powłok cienkowarstwowych można podzielić, ze względu na sposób pracy, na systemy tzw. in-line i off-line. Odpowiednikiem w języku polskim są odpowiednio, potokowe i wsadowe systemy nanoszenia cienkich warstw. Różnica między nimi polega na sposobie realizacji cyklu próżniowego. W wypadku systemu potokowego (in-line) podłoża są pokrywane powłokami w sposób ciągły i przemieszczają się przez kolejne komory urządzenia przy "otwartym" wejściu i wyjściu linii. Warunki próżniowe są osiągane w wyniku pompowania kolejnych komór oraz śluz między nimi (tzw. komór buforowych). Dzięki odpowiednim rozwiązaniom konstrukcyjnym są zapewnione wymagane warunki procesów osadzania warstw przy dynamiczne "otwartym" systemie próżniowym. Kolejne partie, przesuwających się wzdłuż linii, podłoży są pokrywane w sposób ciągły powłokami cienkowarstwowymi i cykl produkcyjny zamyka się w jednym cyklu próżniowym. W wypadku systemu wsadowego (off-line), po załadowaniu do komory roboczej określonej liczby podłoży, następuje proces pompowania, procesy obróbki wstępnej podłoży, właściwy proces pokrywania warstwami, a następnie komora robocza jest zapowietrzana. Po zakończeniu cyklu próżniowego, podłoża są wyładowywane z komory, ich miejsce zajmuje następna partia podłoży i jest realizowany kolejny cykl próżniowy. Zatem na cykl produkcyjny składają się kolejne cykle próżniowe. Wybór systemu do nanoszenia cienkich warstw zależy od stawionych wymagań. Linie potokowe składają się z kilku (kilkunastu) komór roboczych, a ich długość jest rzędu kilkudziesięciu metrów. Działanie systemu wsadowego zakłada prowadzenie procesu otrzymywania warstw w jednej komorze roboczej. W systemie potokowym istnieje możliwość pokrywania wielu podłoży, ale w praktyce tylko płaskich. Mogą również wystąpić ograniczenia przy stosowaniu bardziej specjalistycznych technologii. W systemie wsadowym stwarza się różnorodne możliwości technologiczne oraz zapewnia nanos[...]

« Poprzednia strona  Strona 2