Wyniki 1-2 spośród 2 dla zapytania: authorDesc:"KATARZYNA KRÓWKA"

Badanie cienkich warstw nanoszonych metodą magnetronowego rozpylania krzemu w atmosferze Ar + O2

Czytaj za darmo! »

Ograniczeniem wydajności osadzania warstw związków dielektrycznych podczas reaktywnego rozpylania za pomocą magnetronu jest pokrywanie się (zatruwanie) powierzchni materiału rozpylanego. Na powierzchni targetu tworzą się dielektryczne związki chemiczne, których współczynniki rozpylania są znacznie niższe od materiału targetu (np. Al → Al2O3, Si → SiO2, SiOx). Stan powierzchni materiału rozpylanego stanowi kryterium przy klasyfikacji modu pracy magnetronu. Mod metaliczny, przejściowy i dielektryczny opisują odpowiednio powierzchnię targetu niepokrytą, częściowo pokrytą i całkowicie pokrytą tworzącym się związkiem. Stechiometryczne związki tworzą się w większości wypadków w modzie dielektrycznym lub/i przejściowym (warunek wstępnego uformowania się związku na targeci[...]

Łączenie podłoży szklanych metodą bondingu anodowego

Czytaj za darmo! »

Szkło, jako materiał obojętny chemicznie, przezroczysty, umożliwiający łatwe czyszczenie jest chętnie stosowane do budowy chipów fluidycznych [1]. Są to struktury najczęściej wykonane z dwóch warstw szkła, które po odpowiedniej obróbce mechanicznej lub chemicznej (wytworzenie mikrokanałów, otworów przelotowych), łączone są ze sobą w procesie bondingu fuzyjnego w temperaturze bliskiej temperaturze mięknięcia szkła [2 - 5]. Wybrane przykłady szklanych chipów fluidycznych (mikroreaktorów chemicznych) przedstawiono na rys. 1. naniesieniu cienką warstwę poddawano odpowiedniej obróbce termicznej (formowanie warstwy). Następnie, dwa podłoża szklane łączono w procesie bondingu anodowego przez cienką warstwę uformowanego PSi (rys. 2). Formowanie warstwy PSi jest kluczowym krokiem technologicznym w opisywanej tu metodzie: zwiększa adhezję warstwy PSi do szkła i zdecydowanie zwiększa wytrzymałość mechaniczną połączenia szkło-szkło. Rys. 1. Szklane mikroreaktory chemiczne wytworzone przez firmę Mikroglas (a), Dolomite (b), Micronit (c) Fig. 1. Glass mic[...]

 Strona 1