Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"TERESA AFEK"

Cienkie powłoki z tetrametoksysilanu (TMOS) osadzane metodą PE-CVD i ich zastosowanie

Czytaj za darmo! »

Za pomocą wyładowania stabilizowanego przegrodą dielektryczną pod ciśnieniem atmosferycznym otrzymywano cienkie powierzchniowe warstwy złożone głównie z ditlenku krzemu. Doświadczenia prowadzono w reaktorze laboratoryjnym, o regulowanej temperaturze podłoża, przy częstotliwości 5 kHz. Przez polikondensację tetrametoksysilanu (TMOS) w mieszaninach TMOS+Ar, TMOS+Ar+O2 (o stężeniu 0,056% i 3[...]

 Strona 1