Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"Aneta Zięba"

BADANIE WŁAŚCIWOŚCI CIENKICH WARSTW TLENKÓW CYNKU OTRZYMYWANYCH METODĄ REAKTYWNEGO IMPULSOWEGO ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO DOI:10.15199/13.2019.7.3


  Tlenek cynku oraz materiały na jego bazie znajdują szerokie zastosowanie w mikroelektronice. Cienkie warstwy tego związku należą do grupy tzw. przeźroczystych warstw przewodzących TCO (Transparent Conductive Oxide). Tlenek cynku ZnO jest szerokopasmowym półprzewodnikiem grupy półprzewodników II-VI. Warstwy tego związku wyróżnia dobra przezroczystość, wysoka ruchliwość elektronów, szerokie pasmo wzbronione oraz właściwości luminescencyjne (w temperaturach pokojowych). Materiał ten znajduje zastosowanie w płaskich wyświetlaczach, ogniwach słonecznych, w technice światłowodowej oraz różnych urządzeniach optoelektronicznych [1÷7]. W artykule przedstawiono proces nanoszenia oraz wyniki badań cienkich warstw tlenku cynku otrzymanych metodą reaktywnego, impulsowego rozpylania magnetronowego za pomocą magnetronu kołowego WMK-100. Urządzenie to oferuje możliwość prowadzenia procesów z bardzo dużą mocą wydzielaną w rozpylanym materiale, co przekłada się na wydajność procesów osadzania cienkich warstw. CZĘŚĆ EKSPERYMENTALNA Procesy prowadzano w stanowisku próżniowym typu NP-500 wyposażonym w układ pompowy (pompa dyfuzyjna 2000 l/s + pompa rotacyjna 30 m3/h). Ciśnienie końcowe w komorze roboczej wynosiło ~2∙10-5 Torr. W podstawie komory próżniowej stanowiska zamocowano wyrzutnię magnetronową kołową WMK-100 przystosowaną do rozpylania targetów o średnicy ø100 mm. Wyrzutnię magnetronową zasilano jednostką DPS (Dora Power System) MSS-10 kW [8]. Zależność między mocą krążącą (stan powierzchni targetu) i efektywną (proporcjonalna do szybkości nanoszenia warstw) zasilacza PE/PC mierzoną podczas rozpylania w atmosferze argonu pozwala na "kalibrowanie" przyszłego procesu reaktywnego rozpylania i umożliwia skalowanie procesów rozpylania w mieszaninie tlenu i argonu. Badano charakterystyki elektryczne procesu rozpylania targetów Zn (99.999%) o grubościach dTZn = 9 mm. Gazy robocze (argon i tlen) były wprowadzane do komory próżniowe[...]

 Strona 1