Mimo wielu zalet procesu rozpylania magnetronowego, kontynuowane są poszukiwania nowych możliwości technologicznych otrzymywania cienkich warstw tą metodą. Proponowane są nowe rozwiązania konstrukcyjn[...]

mgr inż. ARTUR WIATROWSKI, dr hab. WITOLD MICHAŁ POSADOWSKI Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki inż. JERZY DORA, "Wyrób Elektronicznej Aparatury Laboratoryjnej", Wroc[...]