mgr inż. KRZYSZTOF CZUBA1, prof. dr hab. inż. JANUSZ DOBROWOLSKI1, FRANK EINTS2, MATTHIAS FELBER2 1 Politechnika Warszawska, Instytut Systemów Elektronicznych 2 Deutsches Elektronen-Synchrotron (DESY)[...]

  Fotodetektory średniej podczerwieni wykorzystywane są w wielu zastosowaniach, np. wojskowych, medycznych czy przemysłowych. W ostatnich latach supersieci II rodzaju InAs/GaSb wykazały ogromny potencjał pozwalający na zastąpienie powszechnie wykorzystywanych przyrządów bazujących na HgCdTe. Niestety pomimo starań wielu grup badawczych nadal nie udało się w pełni wykorzystać ich możliwości. W pracy zaprezentowano obecny stan technologii wytwarzania fotodetektorów na bazie supersieci II rodzaju InAs/GaSb, pracujących w zakresie od 3 do 5 μm, w Instytucie Technologii Elektronowej (ITE). Opisane zostały kolejne etapy: krystalizacja supersieci, charakteryzacja struktur epitaksjalnych, technologia przyrządów oraz charakteryzacja elektryczna i optyczna detektorów. Na koniec porównano uzyskane parametry użytkowe fotodetektorów dostępnych komercyjnie i wytwarzanych w ITE. Słowa kluczowe: detektory podczerwieni, supersieci II rodzaju, InAs/GaSb.Detektory podczerwieni pracujące w zakresie długości fal 3-15 μm są ważne w wielu zastosowaniach przemysłowych, wojskowych oraz wykorzystywane do obserwacji Ziemi z kosmosu [1]. Wysokiej klasy systemy detekcji podczerwieni wykorzystują przyrządy wykonane z tellurku kadmowo-rtęciowego HgCdTe (ang. Mercury Cadmium Telluride, MCT) [2], kwantowe fotodetektory podczerwieni (ang. Quantum Well Infrared Photodetector, QWIP) [3] i detektory bazujące na antymonku indu (InAsSb) [4]. Parametry współczesnych fotonowych detektorów podczerwieni, charakteryzujących się gigahercową szerokością pasma, są ograniczone przez szereg zjawisk natury chemicznej i fizycznej. W przypadku detektorów MCT podstawowym ograniczeniem jest rekombinacja Augera [5], natomiast w detektorach typu QWIP ze związków III-V istotny wpływ na pogorszenie parametrów przyrządów ma duża szybkość generacji termicznej [6]. Alternatywę dla wymienionych rozwiązań stanowią detektory na bazie supersieci II rodzaju (ang. Type II Superlattice[...]