Wyniki 1-3 spośród 3 dla zapytania: authorDesc:"MARCIN PAWEŁCZAK"

Zintegrowana głowica pomiarowa do badania chropowatości powierzchni bardzo gładkich

Czytaj za darmo! »

Rozwój technologii wytwarzania elementów charakteryzujących się bardzo dużą gładkością powierzchni - elementów optycznych, krzemowych płytek podłożowych, dysków pamięci komputerowych, precyzyjnych elementów mechanicznych - związany jest z powstaniem wielu nowych metod pomiaru chropowatości powierzchni, które służą do bezstykowego pomiaru wysokości nierówności powierzchni o wartości kilku na[...]

Badania porównawcze parametrów powierzchni gładkich metodami rozpraszania światła


  Praktyczne wykorzystanie zjawiska rozpraszania światła do pomiaru wysokości nierówności powierzchni charakteryzujących się dużą gładkością zostało zapoczątkowane przez Bennetta i Porteusa, którzy zbudowali pierwszy układ działający na zasadzie pomiaru całkowitej mocy promieniowania rozproszonego przez powierzchnię TIS (ang. Total Integrated Scatter) [1]. Później pojawiły się inne sposoby zastosowania tego zjawiska, polegające m.in. na pomiarze kątowego rozkładu natężenia promieniowania rozproszonego ARS (ang. Angle-Resolved Scatter) [3]. Rozkład taki można wyznaczyć w wybranej płaszczyźnie i przedstawić go za pomocą indykatrys rozpraszania. Istnieje również możliwość jego przedstawienia przestrzennego. W tym przypadku stosowana jest dwukierunkowa funkcja rozkładu reflektancji oznaczana akronimem BRDF (ang. Bidirectional Reflectance Distribution Function) lub BSDF (Bidirectional Scatter Distribution Function). Metody te i technika pomiarów została szeroko opisana w literaturze światowej (np. w pracach Stovera [16], Benett i Mattssona [2]), a także w monografiach krajowych [8, 12]. Zwięzły opis metod i przegląd aparatury pomiarowej podano też w pracy [18]. Pomimo powstania wielu innych technik bezstykowej oceny powierzchni gładkich, np., interferometrii i mikroskopii sił atomowych, umożliwiających uzyskanie topografii powierzchni i jej charakterystykę za pomocą bardzo wielu parametrów, metody rozpraszania światła są w dalszym ciągu intensywnie rozwijane. W wielu przypadkach, np. przy kontroli wyrobów istotny jest krótki czas pomiaru, niski koszt urządzenia i możliwość jego instalacji nawet w warunkach produkcyjnych. W takich warunkach często wystarczające jest zmierzenie kilku parametrów, a nawet jednego, którym jest najczęściej średnie kwadratowe odchylenie wysokości nierówności. Dlatego oprócz dawniej już opisywanych urządzeń przeznaczonych do takich celów [17, 22, 23] ostatnio pojawiło się wiele nowych aparatów przenośnych [[...]

Badania porównawcze chropowatości powierzchni gładkich za pomocą skaterometrii, interferometrii i mikroskopii sił atomowych


  Metody pomiaru chropowatości powierzchni oparte na wykorzystaniu zjawiska rozpraszania światła (skaterometria) są przydatne szczególnie do badania powierzchni gładkich, jakimi charakteryzują się np. płytki krzemowe, elementy optyczne, nośniki pamięci komputerowych, precyzyjne elementy metalowe. Mimo, że w przeciwieństwie do innych metod, np. interferometrii lub mikroskopii sił atomowych, liczba badanych parametrów powierzchni wynosi co najwyżej kilka lub ogranicza się nawet tylko do pomiaru średniego kwadratowego odchylenia wysokości nierówności σ, technika ta ma duże zastosowanie i stale się rozwija. Wyrazem tego jest pojawienie się w ostatnim czasie wielu nowych metod i przyrządów skaterometrycznych, zwłaszcza przenośnych [8,15] lub podręcznych [22, 23], przeznaczonych do kontroli powierzchni elementów po obróbce gładkościowej lub nawet w trakcie takiej obróbki. Działają one na zasadzie pomiaru natężenia promieniowania rozproszonego w wybranej płaszczyźnie (angle-resolved scatter - ARS) [5, 7, 24]. Druga metoda opiera się na pomiarze mocy promienistej całego światła rozproszonego (Total Integrated Scatter - TIS) [16, 24]. Chociaż metoda TIS powstała najwcześniej [1] i ma szereg zalet (pomiar promieniowania rozchodzącego się we wszystkich kierunkach, szybkie i proste obliczenie parametru σ, itd.), jej zastosowanie w dalszym ciągu ogranicza się jednak do prac laboratoryjnych [9, 18] lub zastosowań specjalnych [21]. Do pomiaru mocy rozproszonej są stosowane półkuliste zwierciadła wklęsłe (sfery Coblentza) lub sfery integracyjne (kule Ulbrichta) [16, 24], które ze względu na duże rozmiary i wysoką cenę nie nadają się do zastosowania w przyrządach podręcznych. Dlatego aby umożliwić budowę tego rodzaju urządzeń, w Instytucie Maszyn Matematycznych (IMM) opracowano nowy sposób pomiaru światła rozproszonego polegający na użyciu układu z fotodiodą krzemową, która pełni funkcję elementu integrującego to promieniowanie. Struk[...]

 Strona 1