Wyniki 1-2 spośród 2 dla zapytania: authorDesc:"IVAN ZHARSKY"

Sensorowe właściwości cienkich warstw SnO2 wytwarzanych rozpylaniem magnetronowym


  Jednym z najważniejszych problemów czujników chemicznych jest stworzenie czułych, selektywnych, niezawodnych i długowiecznych czujników do analizy gazowej. Najbardziej perspektywicznymi wśród nich są półprzewodnikowe gazowe sensory typu adsorpcyjnego, wykonywane według mikroelektronicznej technologii grupowej. Ich perspektywiczność uwarunkowana jest wysoką jakością i miniaturyzacją, niską energochłonnością, wysoką powtarzalnością parametrów i wyjątkową wygodą obróbki uzyskiwanej informacji. Z dużej liczby metod wytwarzania czułych warstw najbardziej przydatnymi są metody próżniowe, które pozwalają osiągnąć wysoką czystość oraz powtarzalność, parametrów warstw. Na dużą uwagę zasługują sensorowe właściwości półprzewodnikowych warstw dwutlenku cyny ze względu na ich wysoką czułość w stosunku do różnych środowisk gazowych. Wysoka czułość w stosunku do różnych gazów jest jednocześnie wadą polegającą na trudności rozdzielenia sygnałów pochodzących od różnych gazów. Problem selektywności jest uwarunkowany faktem, że adsorpcja cząstek o różnym składzie chemicznym prowadzi do podobnych zmian właściwości elektrofizycznych czujnika. Istnieją jednak metody poprawy selektywności czujnika, które pozwalają na wytwarzanie adsorbentów wrażliwych tylko na określone rodzaje gazu. Podstawowym celem danej pracy były badania skierowane na podwyższenie czułości i selektywności warstw sensorowych na bazie SnO2, obniżenie ich roboczej temperatury, podwyższenie stabilności i ustalenie prostych i jednoznacznych zależności pomiędzy sygnałem sensora a koncentracją gazu. Wyniki doświadczalne Sensorowe warstwy SnO2 i ich domieszkowane odmiany otrzymano metodą termicznego utlenienia warstw metalowych cyny [1]. Warstwy cyny nanoszono metodą rozpylania magnetronowego, używając argonu jako gazu rozpylającego. W celu otrzymania domieszkowanych warstw SnO2 do rozpylanej tarczy ze Sn wprowadzano domieszki w postaci cienkich pasków Pd, co pozwoliło uzyskać wars[...]

Zastosowanie sensorów termoelektrycznych do analizy gazów

Czytaj za darmo! »

W ostatnich latach dużo uwagi poświęcono opracowaniu mikroelektronicznych przetworników (czujników) pomiarowych różnych wielkości fizycznych i chemicznych, takich jak czujniki temperatury, ciśnienia, przyspieszenia, indukcji pola magnetycznego, natężenia promieniowania, wilgotności oraz składu chemicznego gazów. Czujniki gazów mają duże zastosowanie w przemyśle chemicznym, elektronicznym, l[...]

 Strona 1