Wyniki 1-7 spośród 7 dla zapytania: authorDesc:"MARZENA MITORAJ"

Optymalizacja procesu osadzania nanowarstw krzemianów baru metodą MOCVD


  W ciągu ostatnich kilkudziesięciu lat miniaturyzacja urządzeń elektronicznych była jedną z głównych sił napędowych rozwoju tej dziedziny przemysłu [1]. Zmniejszanie rozmiarów urządzeń elektronicznych jest nieodzownie związane ze zmniejszaniem rozmiarów układów scalonych oraz zwiększaniem ilości informacji jaka może być zapisana na pojedynczym chipie [2]. Już w 1965 roku Gordon Moor w swojej pracy [3] przewidział, że ilość tranzystorów jaka może być umieszczona na pojedynczy chipie, będzie się podwajać co dwa lata. Głównym elementem składowym półprzewodnikowych układów scalonych są tranzystory typu MOSFET. W tego typu tranzystorach warstwę izolatora (zwanego także tlenkiem bramki) spełniał dotychczas dwutlenek krzemu, posiadający wiele właściwości czyniących go doskonałym dielektrykiem [4]. Jednak w miarę zmniejszania się rozmiarów tranzystorów, a co za tym idzie grubości warstwy izolatora do ok. 3…4 nm, dwutlenek krzemu traci właściwości dobrego izolatora i następuje znaczący wzrost tzw. prądu upływu [5]. Wzrost prądu upływu powoduje zaś niekorzystne zwiększenie zużycia mocy. Redukcja grubości SiO2 zwiększa pojemność całego układu, a więc stosując w miejsce tlenku krzemu inny materiał o wysokiej stałej dielektrycznej (k > 3,9) można uzyskać tą samą pojemność przy większej grubości warstwy, unikając pojawienia się wysokiego prądu upływu. Materiały o wysokiej stałej dielektrycznej zwane są z języka angielskiego materiałami high-k [6]. Materiały high-k, które mogłyby zastąpić dwutlenek krzemu, muszą posiadać wiele innych cech (min. stabilność w obecności krzemu, dostatecznie wysoka przerwa energetyczna, łatwość otrzymywania), które umożliwiałyby ich zastosowanie jako tlenki bramki. W literaturz[...]

Warstwy ochronne na stopie tiAlNb nanoszone techniką magnetronową - odporność na utlenianie

Czytaj za darmo! »

Stopy z uporządkowanych faz międzymetalicznych, jakie tworzy tytan z glinem, znajdują zastosowanie jako nowe, lekkie materiały konstrukcyjne do pracy w wysokich temperaturach [1-5]. Zasadniczymi zaletami tych stopów są: niska gęstość, wysoka wytrzymałość oraz żaroodporność. Potencjalne zastosowania obejmują łopatki turbin gazowych, wirniki turbosprężarek oraz elementy silników samochodowych.[...]

Struktura i wybrane właściwości użytkowe powłok Ni-Cr na podłożach ze stopu TiAlNb

Czytaj za darmo! »

Tytan oraz jego stopy, ze względu na wiele specyficznych właściwości (między innymi duża wytrzymałość względna, wysoka odporność na korozję, wysoka temperatura topnienia, niska gęstość, obojętność biologiczna) [1,2], znalazły zastosowanie w wielu dziedzinach techniki [3-5]. Szczególnie interesującymi materiałami konstrukcyjnymi (zwłaszcza w lotnictwie) są stopy na osnowie faz międzymetalicznych Ti-Al. Ich zasadniczą zaletą jest niska gęstość połączona z dobrymi parametrami wytrzymałościowymi [6,7]. Prowadzone w ostatnich latach badania nad poprawą właściwości tych stopów poprzez modyfikacje składu [8], mikrostruktury [9] oraz warunków procesu otrzymywania [10] sprawiły, że spełniają one obecnie coraz więcej kryteriów wytrzymałościowych i stanowią materiały konkurencyjne dla na[...]

Ochrona powierzchniowa stopu Ti-46Al-8Nb


  Stopy na osnowie faz międzymetalicznych z układu Ti-Al są przedmiotem dużego zainteresowania ze względu na niską gęstość (dwukrotnie niższą od żarowytrzymałych stopów niklu) dobre właściwości mechaniczne oraz odporność na utlenianie. Ich zastosowania konstrukcyjne w podwyższonej temperaturze ogranicza jednak skłonność do pochłaniania gazów i związane z tym obniżenie plastyczności. W niniejszym artykule przedstawiono wyniki badań mających na celu ograniczenie dyfuzji gazów przy pomocy warstw nanoszonych metodą rozpylania magnetronowego. Omówiono właściwości mikromechaniczne warstw oraz ich odporność na utlenianie w powietrzu w warunkach cyklicznych zmian temperatury. Słowa kluczowe: stopy na osnowie γ-TiAl, utlenianie, warstwy ochronne Surface protection of a Ti-46Al-8Nb all[...]

Modyfikacje powierzchni stopu tytanu metodą rozpylania magnetronowego

Czytaj za darmo! »

Duża odporność na korozję w różnych środowiskach, obojętność biologiczna, brak toksyczności, a także mała gęstość (4,5 g/cm3) tytanu oraz duża wytrzymałość mechaniczna sprawiają, iż metal ten oraz jego stopy są szeroko stosowane jako nowoczesne biomateriały metaliczne [1,2]. Wzrost zapotrzebowania na elementy biozgodne z tkankami organizmu żywego jest przyczyną ciągłych poszukiwań nowych sposobów ulepszania znanych stopów. Badania obejmują szerokie spektrum wyspecjalizowanychmetod nanoszenia powłok zwiększających biozgodność i tolerancję materiału [1]. Jednak dotychczasowe doświadczenia in vivo nie dają w pełni zadowalających rezultatów. Jest to związane ze stosunkowo łatwym przechodzeniem składników stopu (np. wanadu) do organizmu ludzkiego i w konsekwencji powodowaniem stanó[...]

Warstwy Mg2Si nanoszone metodą impulsowego rozpylania magnetronowego DOI:10.15199/13.2015.2.25


  Mg2Si jest jedynym związkiem międzymetalicznym w układzie Mg-Si. Krystalizuje w układzie z siecią regularną ściennie centrowaną o strukturze typu fluorytu. Mg2Si jest półprzewodnikiem typu n z przerwą energetyczną 0,78 eV [1]. Ze względu na możliwość odwracalnej interkalacji litem Mg2Si wykorzystywany jest jako materiał katodowy w bateriach litowo-jonowych [2]. Ponadto krzemek magnezu jest obiecującym materiałem do zastosowań termoelektrycznych w zakresie temperatury 300-600OC. Pierwiastki do syntezy tego materiału (Mg i Si) występują w dużej ilości w przyrodzie, są nietoksyczne i stosunkowo tanie. W celu poprawy właściwości termoelektrycznych, Mg2Si można domieszkować bizmutem, antymonem, srebrem, galem, cyną i germanem [4-9]. Krzemek magnezu w formie warstw otrzymuje się różnymi metodami fizycznego osadzania z fazy gazowej, wśród których można wymienić wyładowanie jarzeniowe [10], ablację laserową [11], lub rozpylanie jonowe [12]. Otrzymywanie warstw o składzie stechiometrycznym jest jednak zadaniem trudnym. W pracy [10] krzemek magnezu otrzymano w procesie wyładowania jarzeniowego przy użyciu targetu sektorowego, składającego się z naprzemiennie ułożonych płytek magnezu i krzemu. Przeprowadzone badania rentgenowskiej analizy fluorescencyjnej wykazały, że w wyniku rozpylania targetu, w którym stosunek powierzchni Mg:Si wynosił 50%:50% można otrzymać warstwę Mg-Si o zawartości magnezu zmieniającej się w zakresie 82-85% at. Do otrzymania warstwy, w której ilość magnezu była najbardziej zbliżona do wartości odpowiadającej stechiometrycznemu Mg2Si wykorzystano target o stosunku powierzchni Mg:Si wynoszącym 25% : 75%. W pracy [12] podjęto próbę otrzymania warstwy Mg2Si przez rozpylanie jonowe targetu sektorowego złożonego z naprzemiennie ułożonych płytek magnezu i krzemu. Wykonano trzy targety, w których udział powierzchni Mg:Si, wynosił 25% : 75%, 50% : 50%, oraz 75% : 35%. Rentgenowska analiza fluorescencyjna oraz rentgenow[...]

Nanoszenie warstw metalicznych na mikrosfery glinokrzemianowe


  Mikrosfery glinokrzemianowe, będące składnikiem popiołów lotnych, mają zbliżone właściwości fizyczne, niezależnie od rodzaju węgla spalanego w instalacjach przemysłowych [5]. Ich ścianki mają budowę amorficzną a ich średni skład mieści się w granicach: SiO2 - 54…65%, Al2O3 - 21…39%, Fe2O3 - 2…4%, MgO - 1…2,5%, CaO <1%, Na2O - 0,3…1,3%. Do badań użyto mikrosfery o uziarnieniu poniżej 0,50 mm, gęstości pozornej wynoszącej około 0,80 g/cm3, gęstości nasypowej 0,42 g/cm3 i średnim współczynniku przewodzenia ciepła równym 0,12 W/(m·K). Frakcja ziarnowa 125…250 μm była dominująca i stanowiła ponad 65%. W wyniku separacji ziarnowej otrzymano frakcje: <63 μm, 63…125 μm, 125…250 μm i >250 μm. Na mikrosfery nanoszono warstwy metali (Cu i Ni) metodą magnetronową. W cylindrycznej komorze próżniowej o średnicy 600 mm i wysokości 700 mm, zainstalowano planarną wyrzutnię magnetronową WMK - 50. Magnetron zasilano przy pomocy zasilacza Dora Power System (DPS), generującego impulsy o charakterze sinusoidalnym z częstotliwością 80 kHz. Regulacja mocy doprowadzonej do magnetr[...]

 Strona 1