Wyniki 1-4 spośród 4 dla zapytania: authorDesc:"EHRENFRIED ZSCHECH"

Calibration of atomic force microscope

Czytaj za darmo! »

Atomic force microscopy (AFM) is a common method for topographical imaging as well as for measuring electric (e.g. current-voltage characteristics between a probe and a sample [1], local conductance image [2]), elastic (e.g. force-distance interactions between a tip and a substrate [3], direct molecular interactions between organic monolayers terminated in different functional groups [4] or [...]

Skalowanie optycznego czujnika sił tarcia mikroskopu sił atomowych

Czytaj za darmo! »

Mikroskopia sił atomowych umożliwia wysokorozdzielcze obrazowanie powierzchni za pomocą zbliżanego do powierzchni mikroostrza. W ten sposób można uzyskiwać informacje o mechanicznych, elektrycznych, termicznych i optycznych właściwościach powierzchni. Wadą tej wysokoczułej techniki jest jednak jakościowy charakter uzyskiwanych danych - ilościowa analiza uzyskiwanych wyników wymaga najczęście[...]

Układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych mikroprzetworników wysokoczęstotliwościowych

Czytaj za darmo! »

W niniejszym artykule opisany został układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych dźwigni krzemowych. Omówiona została metoda uzyskiwania mikrodźwigni sprężystych. Opisana została budowa specjalizowanego układu optycznego do detekcji ugięcia mikrobelek oraz zasada detekcji ugięcia Przedstawiona została również nowa metoda pomiarowa, polegająca na wykorzystaniu modulowanej wiązki światła do pomiaru parametrów przetworników o wysokich częstotliwościach rezonansowych. Abstract. In this paper we describe a system for measuring the resonance characteristics of the silicon cantilever. The method of preparation spring cantilevers is presented. The construction of a specialized optical system to detect the deflection of the cantilevers and the principle of detection the cantilevers deflection is described. The new method based on the modulated laser beam, to measure characteristics of the high frequency transducers, is presented.(Setup for measuring the resonance characteristics of high-frequency microtransducers). Słowa kluczowe: mikrodźwignia, mieszacz częstotliwości, modulacja, laser. Keywords: microcantilever, frequency mixer, modulation, laser. Wstęp Obserwowany postęp w dziedzinie zaawansowanych technologii wiąże się również z wytwarzaniem i zastosowaniem układów o coraz mniejszych wymiarach. Lepsze zrozumienie zjawisk występujących w tego typu zespołach wymaga prowadzenia obserwacji w skali pojedynczych nanometrów. Konsekwencją tej tendencji jest opracowanie narzędzi metrologicznych umożliwiających precyzyjne ilościowe pomiary bardzo małych sił, mas i przemieszczeń. Idealnym do tego celu rozwiązaniem wydają się być przetworniki nanomechaniczne (ang. Nano- Electro-Mechanical-Systems - NEMS). W układach takich dzięki dużym częstotliwościom rezonansowym, wysokiej dobroci oraz małym wymiarom geometrycznym możliwa jest detekcja zmian masy rzędu attogramów [1,2] oraz siły rzędu piko- i femtonewtonów [3]. Zastosowanie[...]

Integrated thermal probe for SThM investigation of micro- and nanoelectronic devices


  Modern technology of micro/nanoelectronic components, sensors and MEMS/NEMS (Micro/Nano-Electro-Mechanical- Systems) requires increasingly the control of materials at the sub-micrometer scale down to the nanometer scale. According the ITRS roadmap for silicon-based semiconductor devices, the power dissipation of chips exceeds 300 W, with localized heat fluxes even above 500 W/cm2. Therefore, local thermal properties of the involved structures are of high interest; and sub-100 nm resolution is required for most of the studies. Particularly, the heat transfer phenomena, including e.g. phonon heat conduction mechanisms in micro- and nanostructures, have to be understood since they differ significantly from that on the macroscale. The invention of the scanning tunneling microscope (STM) [1] and the atomic force microscope (AFM) [2] have allowed sub-micrometer and even atomic scale spatially resolved imaging of surfaces. The spatial resolution of these near-field techniques is only limited by the active area of the sensing tip (which in the case of STM may only be a few atoms at the end of a metal wire). As described by Dinwiddie and Pylkki in 1994, first scanning thermal microscopy (SThM) probes employed resistance thermometry to measure thermal properties [3]. These probes were fashioned and made from Wollaston wire consisting of a thin platinum core (ca. 5 μm in diameter) surrounded by a thick silver sheath (ca. 75 μm). Because of its high endurance, the Wollaston probe is attractive for microsystem diagnostics [4, 5], however the active area in the range of a few micrometers does not fulfill the requirements regarding spatial resolution and quantitative thermal properties for micro- and nano-scale components. In this paper we propose a novel AFM cantilever combined with a SThM resistive tip. Moreover, the technology sequence developed for manufacturing of AFM/SThM probes offers highly reproducible, cost-effective b[...]

 Strona 1