Wyniki 1-3 spośród 3 dla zapytania: authorDesc:"MAREK JĘDRZEJCZYK"

System sterowania wiązką elektronów dział elektronowych dużych mocy w zastosowaniu do urządzeń EB PVD

Czytaj za darmo! »

Wiązki elektronów (WE) dużej mocy znajdują, dzięki swoim zaletom, szerokie zastosowanie w różnego rodzaju urządzeniach. Najczęściej są toWE o mocy od kilku do kilkudziesięciu KW. Wiązka elektronowa jest narzędziem "czystym". W procesie technologicznym nie wprowadza żadnych zanieczyszczeń. Jej energię w trakcie procesu można w prosty sposób regulować, a sterowanie procesem łatwo zautomatyzować. Dzięki temu proces jest powtarzalny, a wpływ czynnika ludzkiego znacznie ograniczony. Jednym z zastosowań WE dużej mocy jest nanoszenie warstw metodą EB-PVD (Electron Beam Physical Vapour Deposition). Metoda ta jest bardzo atrakcyjna, jeśli idzie o efekty techniczne i produkcyjne, a jej stosowanie w świecie rozszerza się. Zazwyczaj w urządzeniach tego typu, w zależności od zastosowań, i[...]

Kształtowanie rozkładu energii na powierzchni tygla przez padająca wiązkę elektronów odchylaną pod dużymi kątami w urządzeniu EB PVD

Czytaj za darmo! »

Naparowywanie próżniowe za pomocą wiązki elektronów (EB PVD) jest wykorzystywane do nanoszenia różnego rodzaju warstw: z czystych metali, stopów, a także ceramiki i materiałów kompozytowych. Powłoki takie nanoszone są zarówno na elementy o niewielkich gabarytach, jak i na podłoża, które nie mieszczą się w całości w komorze roboczej, np. w postaci taśm. Urządzenia do EB PVD wyposażone są w je[...]

Odchylanie i modelowanie rozkładu energii wiązki elektronów w urządzeniu EB-PVD

Czytaj za darmo! »

Rozkład energii na powierzchni materiału omiatanego przez wiązkę elektronów (WE) odgrywa kluczową rolę w wielu procesach technologicznych. Przykładem może być naparowywanie próżniowe za pomocą wiązki elektronów (EB-PVD) wykorzystywane do nanoszenia różnego rodzaju warstw: z czystych metali, stopów, a także ceramiki i materiałów kompozytowych. W zależności od konstrukcji urządzenia, działa elektronowe umieszczane są pod niewielkim kątem w stosunku do linii prostopadłej do powierzchni naparowywanego materiału lub też z boku, równolegle do powierzchni, którą wiązka ma omiatać - jest wtedy odchylana o ok. 90° [1]. Opracowana przez autorów metoda odchylania i modelowania energii odchylonej pod dużym kątem WE na powierzchni materiału, pozwala na precyzyjne pozycjonowanie WE na omia-[...]

 Strona 1