Wyniki 1-3 spośród 3 dla zapytania: authorDesc:"PIOTR WROCZYŃSKI"

Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych

Czytaj za darmo! »

Warstwy diamentowe i DLC (ang. Diamond-Like-Carbon) syntezowane są w próżniowych procesach plazmowych PA CVD (ang. Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition). Ich wyjątkowe właściwości elektryczne (szeroka przerwa energetyczna, wysoka rezystywność), optyczne (szeroki zakres widmowy transmisji) oraz termiczne (wysoka przewodność cieplna) skłaniają wiele zespołów badawczych do dalszych badań[...]

Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych

Czytaj za darmo! »

Wyjątkowe właściwości elektryczne (mała przenikalność elektryczna, szeroka przerwa energetyczna, duża rezystywność), optyczne (szeroki zakres widmowy transmisji) oraz termiczne (duża przewodność cieplna) warstw diamentowych i diamentopodobnych DLC (ang.: Diamond-Like-Carbon) stwarzają możliwości unikatowych zastosowań w optyce oraz w opto- i mikroelektronice. Obejmują one m.in. pokrycia zabe[...]

Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych − studium


  Cienkie warstwy diamentowe wytwarzane w procesie CVD (ang. Chemical Vapour Deposition) posiadają unikatowe właściwości, takie jak: duża twardość, szeroka przerwa energetyczna, koincydencja dużej rezystywności z dobrym przewodnictwem cieplnym, szeroki zakres widmowy transmisji sygnałów optycznych, możliwość domieszkowania. Podobne właściwości wykazują także węglowe warstwy diamentopodobne DLC (ang. Diamond-Like-Carbon). Wymienione właściwości wykorzystywane są w technice cienkowarstwowej, np. jako pokrycia narzędzi tnących, pokrycia ochronne dla elementów optycznych na zakres IR, izolacyjne warstwy odprowadzające ciepło z układów scalonych i diod laserowych, filtry z falą powierzchniową, wyświetlacze z emisją polową [1], sensory, elementy półprzewodnikowe na wysokie moce i wysokie częstotliwości. Obecny poziom technologii wytwarzania warstw diamentowych jest niezadowalający w stosunku do wymagań. Ze względu na aplikacje istotna jest kontrola struktury warstw na poziomie molekularnym i zapewnienie powtarzalności procesu. W zależności od parametrów makroskopowych procesu, tj. metody wzbudzenia prekursora węglowego, ciśnienia całkowitego i parcjalnego gazów, typu i temperatury podłoża, warstwy diamentowe mogą być zanieczyszczone fazą grafitową (sp2) i/lub amorficzną, a także defektami chemicznymi (np. wiązania C-H). Defekty te istotnie wpływają na parametry takie jak: rezystywność, odporność na przebicie, transmisja w paśmie optycznym, itp. Możliwości zwiększenia efektywności procesu oraz poprawy jakości warstw tkwią m.in. w zastosowaniu skutecznej metody diagnostycznej, umożliwiającej wykrywanie poszczególnych faz węglowych oraz wiązań molekularnych odpowiadających defektom. Taką metodą może być laserowa spektroskopia ramanowska, oparta na akwizycji i analizie spektralnej promieniowania rozproszonego nieelastycznie podczas oddziaływania molekuł z silną wiązką promieniowania monochromatycznego. Była ona wykorzystywana badań [...]

 Strona 1