Wyniki 1-2 spośród 2 dla zapytania: authorDesc:"CHRISTOPHE GORECKI"

Numeryczno-eksperymentalna metodyka badania mikrobelek z piezoelektryczną warstwą azotku aluminium

Czytaj za darmo! »

Ruchome struktury mikromechaniczne wykonywane są w procesach mikroobróbki powierzchniowej lub/i objętościowej poprzez osadzanie cienkich warstw na powierzchni podłoża i kształtowanie za pomocą technik litograficznych oraz trawienia. Ze względu na zmianę skali, użycie różnych materiałów i technik ich wytwarzania właściwości mechaniczne otrzymanych struktur są silnie uzależnione od procesów te[...]

SMARTIEHS - interferencyjne stanowisko do równoległych pomiarów MEMS i MEOMS


  Kontrola jakości oraz charakteryzacja parametrów mechanicznych stanowi ograniczenie możliwości produkcyjnych mikrosystemów, zwłaszcza w przypadku wymogów stuprocentowej kontroli. Głównym wyzwaniem jest połączenie wymogów procesów technologicznych produkcji masowej oraz używanych najczęściej urządzeń testujących coraz częściej będących składowymi łańcucha produkcyjnego. Jednym ze sposobów zwiększenia tempa produkcji i przepustowości stanowisk pomiarowych jest stosowanie urządzeń wielofunkcyjnych, badających kilka parametrów w jednym cyklu pomiarowym, oraz pomiary równoległe kilkunastu obiektów za pomocą stanowisk wielokanałowych. W ramach europejskiego projektu "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS) opracowywany jest system do szybkiego, efektywnego testowania wielu elementów MEMS jednocześnie [1, 2]. Realizacja projektu zakłada zastosowanie dwóch typów interferometrów do wielofunkcyjnych badań w czasie produkcji pozwalających z jednej strony na stukrotne zmniejszenie czasu trwania pomiaru, a z drugiej strony na pełną (100%) kontrolę parametrów i funkcjonalności wszystkich obiektów w obrębie podłoża z wykorzystaniem optycznych metod pomiarowych. Koncepcja stanowiska pomiarowego W konstruowanym stanowisku pomiary równoległe są realizowane poprzez wymienne głowice optyczne zawierające macierze interferometrów. Rozstaw interferometrów jest[...]

 Strona 1