Wyniki 1-6 spośród 6 dla zapytania: authorDesc:"ANDRZEJ BRUDNIK"

Diagnozowanie procesu reaktywnego rozpylenia


  Cienkie warstwy tlenkow i azotkow oprocz zastosowania w przemy.le optycznym jako warstwy filtrow i warstwy antyrefleksyjne, znalaz.y szerokie zastosowanie w przemy.le po.przewodnikowym mi.dzy innymi jako warstwy czu.e chemicznie na sk.adniki gazu [1, 2], czy cieczy (sensory rezystancyjne ro.nych gazow, elektrody potencjometryczne sk.adnikow cieczy, w tym ISFET-y [3]). W tego typu zastosowaniach konieczne jest, aby element aktywny urz.dzenia, jakim jest cienka warstwa, nie ulega. degradacji w czasie pracy, co jest mo.liwe wy..cznie wowczas, gdy mikrostruktura ukszta.towana w procesie nanoszenia cienkiej warstwy jest stabilna w czasie, a g.sto.. materia.u jest odpowiednio wysoka. Jednym z powszechnie stosowanych procesow przemys.owych nanoszenia cienkich warstw jest technika rozpylania magnetronowego [4]. Polega ona na rozpylaniu materia.u tarczy katody za pomoc. strumienia bombarduj.cych j. jonow, pochodz.cych z wy.adowania jarzeniowego w gazie pod obni.onym ci.nieniem. Technik. t. otrzymuje si. zarowno warstwy przy wytwarzaniu uk.adow elektronicznych (elementy po.przewodnikowe i optoelektroniczne, mikrosystemy, sensory), jak i warstwy optyczne (filtry interferencyjne), wielowarstwowe uk.ady dekoracyjne na szkle budowlanym (gszyby refleksyjneh) czy super-twarde warstwy (TiN, TiC, TiAlN, DLC) poprawiaj.ce parametry narz.dzi skrawaj.cych. W zale.no.ci od potrzeb, proces nanoszenia warstw prowadzony jest w atmosferze gazu oboj.tnego (np. argonu) . w celu otrzymywania warstw metalicznych, lub w mieszance zawieraj.cej gaz reaktywny (tlen, azot, metan) . w celu otrzymania cienkich warstw o ro.nym sk.adzie chemicznym. Cienkie warstwy, otrzymywane zarowno w mikro- jak i makroskali, wymagaj. precyzyjnej kontroli warunkow ich nanoszenia . ze wzgl.du na powi.zanie w.a.ciwo.ci otrzymanego materia.u z parametrami procesu technologicznego, dlatego te. tak wa.ne we wspo.czesnych technologiach pro.niowych jest diagnozowanie sta[...]

Kontrola procesu reaktywnego rozpylania magnetronowego - analiza modelu


  Procesy reaktywnego rozpylania są powszechnie stosowane do otrzymywania związków chemicznych: tlenków, azotków, węglików metali. Proces reaktywnego rozpylania magnetronowego, szczególnie przy dużej szybkości nanoszenia warstw, charakteryzuje się występowaniem niestabilności związanej ze zmianami ciśnienia gazu reaktywnego w procesach jego adsorpcji i absorpcji [1-8]. Celem zapewnienia stabilnych i powtarzalnych warunków technologicznych, konieczny jest wybór metody diagnozowania i kontroli parametrów procesu [1]. W literaturze przedstawione są modele opisujące proces reaktywnego rozpylania tarcz (targetów) metalicznych w atmosferze mieszaniny gazów (argon+ gaz reaktywny), bazujące na zmianie współczynnika wydajności rozpylania materiału niepokrytego i pokrytego warstwą związków chemicznych. Uwzględniają one zmiany ilości gazu reaktywnego wiązanego przez rozpylony materiał w ogólnym bilansie przepływu gazów przez komorę roboczą. Początkowo w opisie zjawiska (J. Heller, A. Yamashita) uwzględniano jedynie procesy zachodzące na powierzchni rozpylanej tarczy [2, 3]. Wprowadzono pojęcie tzw. "ciśnienia krytycznego" dla gazu reaktywnego, po przekroczeniu którego następowała gwałtowna skokowa zmiana szybkości nanoszenia warstw. W późniejszych pracach [4, 5] zaczęto również uwzględniać procesy związane z narastaniem warstwy związku chemicznego na powierzchni podłoża i ściankach komory technologicznej, co prowadzi do absorpcji gazu reaktywnego i zmiany jego efektywnego ciśnienia. Obecnie najczęściej do opisu procesu reaktywn[...]

Proces rozpylania techniką magnetronową w atmosferze dwóch gazów reaktywnych DOI:10.15199/ELE-2014-166


  Współczesne cienkowarstwowe elementy stosowane w elektronice, fotowoltaice i sensorach gazoczułych wymagają technologii materiałowych umożliwiających przygotowanie warstw o coraz większej złożoności składu chemicznego. Technologia powinna również zapewniać możliwość nanoszenia materiału na duże powierzchnie (rzędu m2) w kontrolowany i powtarzalny sposób co jest niezwykle istotne przy produkcji elementów układów fotowoltaicznych np. warstw antyrefleksyjnych. Jedną z metod otrzymywania cienkich warstw jest technika rozpylania katodowego, która w zależności od tego czy proces prowadzony jest w atmosferze gazu obojętnego (argonu, neonu, ksenonu), czy też w atmosferze zawierającej gaz reaktywny (azot, tlen, metan), pozwala otrzymywać warstwy metaliczne lub warstwy związków chemicznych (azotków, tlenków, węglików). Modyfikacja procesu rozpylania katodowego, poprzez wprowadzenie pola magnetycznego przy powierzchni rozpylanej tarczy, zwiększającego szybkość jej rozpylania, nosi nazwę "katody magnetronowej" lub "układu magnetronowego" [1, 2]. Katody magnetronowe są powszechnie stosowane w aparaturze przemysłowej do nanoszenia metalizacji lub warstw dielektrycznych i półprzewodnikowych. Przykładem materiałów wymagających użycia w procesie ich otrzymywania techniką rozpylania magnetronowego dwóch różnych gazów reaktywnych są tlenoazotki wykorzystywane jako warstwy dielektryczne (tlenoazotek krzemu) lub fotoanody (tlenoazotki tytanu [3]) w komórkach do fotokatalitycznego [4] rozkładu wody. Wprowadzenia azotu jako domieszki do cienkich warstw TiO2 zmienia w sposób znaczący właściwości optyczne i elektryczne otrzymanego materiału. Dozowanie azotu, jako drugiego gazu reaktywnego pozwala otrzymać cienkie warstwy z układu tytan-azot-tlen od azotku tytanu przez tlenoazotki do dwutlenku tytanu domieszkowanego azotem [5]. Wraz ze zmianą składu obserwuje się przesunięcie k[...]

Metal - oxide sensor array for gas detection


  Resistive-type semiconducting gas sensors based on metal oxides are convenient and relatively cheap devices used for detection of reducing and oxidizing gases. It is well-known that except for their high sensitivity, their largest drawback is the lack of selectivity. Such sensors cannot distinguish between different gases of the same type, e.g. hydrogen and methane because their dynamic responses look similar. However, this cross-sensitivity, manifesting itself as a non-zero sensor response to interfering gases, is used to advantage in arrays of gas sensors or electronic noses [1-2]. Application of pattern recognition schemes (PARC) allows for classification and recognition of particular components of the analyzed gas mixture and volatile organic compounds (VOCs) [3-6]. Vast research field of classification based on this idea has been established in the 80 ties of 20 th century and a new type of device called: electronic nose has been proposed [1]. The electronic noses are mainly designed to detect and recognize VOCs responsible for smell [7]. Although commercial devices are now available, there is still a need to create miniaturized portable systems. The aim of this work was to design and construct an array of resistive-type semiconducting sensors dedicated to detection and recognition of components of a gas mixture especially hydrogen and ammonia. Detection of these gases becomes increasingly important for their use in automotive industry (ammonia) [8] and fuel cells (hydrogen) [9]. One of the most important requirements for the supporting electronic system is its flexibility understood as a simplicity of reconfiguration in the case of changing number of sensors. The analog part of the system had to be constructed in suc[...]

Data acquisition system for sensor array


  Resistive - type semiconducting gas sensors based on metal oxides have attracted attention of many research groups around the world for detection of reducing and oxidizing gases. First commercial metal oxide gas sensors were introduced in 1971 by Taguchi [1]. It is well known that among some important advantages like low cost and high sensitivity to a broad spectrum of gases, metal oxide resistive sensors have many disadvantages such as: lack of selectivity, high operating temperature, cross-sensitivity to humidity and response drift. All those drawbacks limit the number of real applications and therefore they are used mainly in simple low cost gas alarm systems. Currently, a profound research is carried out to eliminate these drawbacks although without any particular success. Resistive type gas sensors based on metal oxides are not specific because their sensing mechanism is based on electron transfer due to redox reactions. Their selectivity can be improved to a certain extent by a variety of techniques including: suitable doping, application of filters, adjusting the temperature of operation, material morphology, modulation of temperature, analysis of transience responses [2, 3]. Completely different approach to the selectivity problem is represented by the idea of an array of partially specific sensors that are capable to analyze and recognize the components of the gas mixture. When applied to odours, such system is called an electronic nose and was introduced by Dodd and Persaud as a device mimicking the olfactory system of smell [4]. Nowadays there is a specific interest in developing reliable small devices based on sensor arrays for gas detection purposes. A term “application - specific sensor system" has been proposed [2] for systems based on an array of gas sensors and pattern recognition. An array of metal oxide sensors can serve as a tool for gas detection, classification of odours [2] and reducing cross sensi[...]

Pomiary sondą Langmuira rozpylania magnetronowego przy zasilaniu impulsowym

Czytaj za darmo! »

Technika pomiarów sondą Langmuira polega na zarejestrowaniu charakterystyki prądowo-napięciowej sondy, najczęściej cienkiego drutu wolframowego lub platynowego, umieszczonej w obszarze plazmy wyładowania jarzeniowego [1]. Zastosowanie do zasilania katody magnetronowej zasilacza impulsowego, którego prąd wyjściowy jest regulowany przez zmianę współczynnika wypełnienia impulsów, prowadzi do k[...]

 Strona 1