Wyniki 1-4 spośród 4 dla zapytania: authorDesc:"ZENON GNIAZDOWSKI"

Krzemowe piezorezystywne czujniki wielkości mechanicznych. Teoretyczne i praktyczne aspekty modelowania i konstrukcji

Czytaj za darmo! »

W artykule przedstawiono niektóre aspekty modelowania i konstrukcji krzemowych piezorezystywnych czujników wielkości mechanicznych. Ponieważ zjawisko piezorezystywności ma charakter anizotropowy i wiąże ze sobą tensory naprężenia i rezystywności, jego omówienie należy rozpocząć od prezentacji tensorów rezystywności, naprężenia oraz piezorezystywności, a także ich reprezentacji wektorowej i m[...]

Model naprężonego tranzystora MOS


  Przewodność oraz rezystywność są równoważne w sensie relacji wzajemnej odwrotności. Analogicznie, na mocy prawa Hooka zachodzi relacja równoważności pomiędzy naprężeniem i odkształceniem. Dlatego można mówić zarówno o zjawisku piezorezystancyjnym, gdzie naprężenia powodują zmiany rezystywności, jak i o zjawiskach elastorezystancyjnym, piezokonduktancyjnym oraz o zjawisku elastokonduktancyjnym. Powyższe różnie nazywane zjawiska, są w rzeczywistości jednym zjawiskiem fizycznym, różnie postrzeganym. Wszystkie możliwe relacje pomiędzy naprężeniem-odkształceniem, a rezystywnością- przewodnością zostały pokazane w tab. 1 [1].Naprężenie (odkształcenie) w krzemowym kanale tranzystora MOS wpływa na jego parametry elektryczne. Wpływ ten objawia się w zmianie konduktywności (rezystywności) kanału tranzystora. Dlatego bez straty ogólności, w niniejszym artykule zostanie zbadany wpływ naprężeń na konduktywność kanału tranzystora MOS, a więc zjawisko piezo-konduktywności. W celu opisu matematycznego tego zjawiska zostanie użyta wyłącznie notacja wektorowa oraz macierzowa. Dzięki temu problem należący do obszaru rachunku tensorowego, zostanie opisany przy pomocy algebry liniowej. Prawo Ohma W pewnym kartezjańskim układzie odniesienia pole elektryczne w warstwie przewodzącej można przedstawić jako wektor o trzech składowych: (1) Podobnie, gęstość prądu jest także wektorem: (2) Prawo Ohma opisujące związek pomiędzy gęstością prądu, a polem elektrycznym można przedstawić w następujący sposób [2]: (3) Reprezentowana w formie kwadratowej macierzy wielkość κ jest tensorem konduktywności. Jest to tensor drugiego rzędu z dziewięcioma składnikami κij : (4) E [E , E , E ]T 1 2 3 = . j [ j , j , j ]T 1 2 3 = .           ⋅           =   [...]

Piezoelektryczny napęd membran krzemowych

Czytaj za darmo! »

W ostatnich latach obserwuje się niezwykle dynamiczny rozwój mikroanaliz (bio)chemicznych wykorzystujących elementy mikromechaniczne. Dotyczy to zarówno mikroanaliz całościowych (µTAS - ang. Micro Total Analysis System), jak i analiz wstrzyknięciowych (FIA - ang. Flow Injection Analysis). Przyrządy tego typu znajdują coraz szersze zastosowanie w wielu dziedzinach nauki i techni[...]

Krzemowa mikropompka gazowa z napędem piezoelektrycznym


  Prowadzone w ITE badania dotyczące układów do analiz chemicznych gazów, a także badania w zakresie zalewania i odpowietrzania układów do analiz cieczowych były powodem rozpoczęcia prac wiodących do opracowania krzemowej mikropompki gazowej, działającej w oparciu o dynamiczne zawory bierne [1, 2, 4]. Konstrukcja pompki Konstrukcja pompki składa się z dwóch płytek krzemowych (rys. 1). W płytce górnej wytworzono w procesie trawienia anizotropowego membranę (9,2 × 6,9 mm). W płytce dolnej, w procesie dwustronnego trawienia anizotropowego wykonano dwa zawory bierne oraz wgłębienia pozwalające na samocentrowanie obu płytek w procesie klejenia. Element piezoelektryczny (8 × 6 mm) - działający w modzie d31 - połączony jest z membraną za pomocą kleju przewodzącego. Struktury krzemowe wykonano oraz zmontowano na linii doświadczalnej ITE. który przyklejono do membrany. Wyniki pomiarów przedstawiono na rys. 3. W efekcie - za celowe przyjęto ograniczenie parametrów [...]

 Strona 1