Wyniki 1-2 spośród 2 dla zapytania: authorDesc:"K. Piskorski"

Kompleksowa charakteryzacja nowoczesnych struktur nanoelektronicznych przy użyciu Uniwersalnego Systemu Pomiarów Fotoelektrycznych DOI:10.15199/13.2016.8.9


  Działanie przyrządów półprzewodnikowych w większości przypadków oparte jest na zjawiskach występujących w wielowarstwowych układach różnych materiałów i zależy od właściwości tych materiałów. Podstawowym elementem wchodzącym w skład niemalże każdego przyrządu półprzewodnikowego jest struktura MOS (ang. metal-oxidesemiconductor), w związku z czym struktura ta jest doskonałym narzędziem do oceny właściwości materiałowych i parametrów elektrycznych tych przyrządów. Wraz ze zmianą technologii wytwarzania struktur MOS konieczna jest umiejętność zrozumienia nowych zjawisk fizycznych w nich występujących oraz wymagany jest dalszy rozwój metod badawczych. Wiele kluczowych parametrów badanych struktur może być bardzo dokładnie wyznaczona na podstawie pomiarów fotoelektrycznych co sprawia, że metody te zyskują duże znaczenie w charakteryzacji rozmaitych struktur nanoelektronicznych. W pracy przedstawiono wyniki pomiarów elektrycznych i fotoelektrycznych wykonanych na wielu strukturach MOS w celu prezentacji możliwości Uniwersalnego Systemu Pomiarów Fotoelektrycznych. System ten powstał w Zakładzie Charakteryzacji Struktur Nanoelektronicznych ITE na podstawie własnych koncepcji i założeń i realizuje oryginalne metody pomiarowe opracowane w tym Zakładzie. Słowa kluczowe: pomiary fotoelektryczne, struktura MOS.Aby sprostać wymogom stawianym przez ciągły rozwój technologii struktur nanoelektronicznych związany m.in. ze zmianą materiałów poszczególnych warstw czy też z miniaturyzacją tych struktur konieczne stało się opracowanie takiego systemu pomiarowego, który umożliwiałby wszechstronną i kompleksową charakteryzację tych struktur. Bazując na zbudowanym w naszym Zakładzie (2001) Wielozadaniowym Systemie Badań Fotoelektrycznych (WSBF) [1] oraz wykorzystując doświadczenia nabyte w trakcje pracy z tym systemem sformułowane zostały nowe założenia, na podstawie których skonstruowany został Rys. 1. Uniwersalny System Pomiarów Fotoelektrycznych [...]

 Strona 1