Wyniki 1-2 spośród 2 dla zapytania: authorDesc:"TOMASZ STOBIECKI"

Zastosowanie niskokątowej analizy promieniowania X (GIXA) do badań układów cienkowarstwowych

Czytaj za darmo! »

Ze względu na postępujący stopień miniaturyzacji układów elektronicznych, struktury wielowarstwowe stają się coraz cieńsze, a grubości niektórych warstw wynoszą kilka warstw monoatomowych. W związku z tym bardzo dokładny pomiar grubości, w celu wycechowania aparatury, za pomocą której warstwy są nanoszone jest bardzo ważny. Zastosowanie promieniowania rentgenowskiego umożliwia pomiar grubośc[...]

 Strona 1