Tlenek indowo-cynowy, znany jako ITO , stanowi roztwór stały
tlenków In2O3 oraz SnO2 w proporcji odpowiednio 90/10% wag.
Powszechne zainteresowanie tym materiałem jest następstwem
badań jakie miały miejsce na przełomie lat 40. i 50. ubiegłego
stulecia, kiedy zwrócono uwagę na nietypowe właściwości niestechiometrycznych
tlenków indu i cyny, wytwarzanych metodami
parowania próżniowego [1]. Tlenki te mogą charakteryzować
się dużą przezroczystością dla światła widzialnego, na poziomie
zazwyczaj powyżej 80% oraz niewielką (jak na tlenki) rezystywnością
w temperaturze pokojowej, nawet poniżej 10-3 Ωcm. Duża
koncentracja (na poziomie około 1019 - 1021 cm-3) oraz ruchliwość
(kilka - kilkanaście cm2 V-1s-1) elektronów w tym materiale
sprawia, że jest on chętnie wykorzystywany do wytwarzania
przezroczystych elektrod przewodzących w różnego rodzaju wyświetlaczach,
np. LCD. ITO może być nanoszony z wykorzystaniem
różnych technik, przy czym do najpopularniejszych metod
stosowanych w przemyśle należy zaliczyć metody fizycznego
nanoszenia z fazy gazowej (PVD): metodę rozpylania (MS) oraz
metodę parowania (EBE) [2]. Najważniejsze, ze względu na zastosowania
właściwości ITO , do których należą przezroczystość
oraz przewodnictwo elektryczne ściśle zależą od warunków nanoszenia
warstw w trakcie procesu osadzania oraz od warunków
ich obróbki poprocesowej.
W niniejszym artykule przedyskutowano zagadnienia związane
z doborem warunków osadzania warstw przezroczystych
i przewodzących warstw ITO metodą parowania wiązką elektronową.
Warstwy wytwarzane były z przeznaczeniem na elektrody
sterujące struktur elektrochromowych. Założono, że aby umożliwić
poprawną pracę takich struktur warstwy powinny charakteryzować
się przezroczystością na poziomie co najmniej 70% oraz
rezystywnością nie większą niż 10-2 Ωcm.
Część eksperymentalna
Warstwy naniesiono na przemysłowym stanowisku do osadzania
warstw cienkich metodą parowania wiązką elektronową z k
[...]




Metoda płatności: Płatności elektroniczne (karta kredytowa, przelew elektroniczny) | |
Dostęp do publikacji - jednorazowy (płatność elektroniczna) - tylko 6,00 zł
(płacisz 45% mniej niż przy płatności SMS) |
|
Dostęp do Wirtualnej Czytelni - archiwalne e-zeszyty czasopisma - 1h tylko 24.60 zł | |
Dostęp do Wirtualnej Czytelni - archiwalne e-zeszyty czasopisma - 4h tylko 43.05 zł | |
Dostęp do Wirtualnej Czytelni - archiwalne e-zeszyty czasopisma - 12h tylko 73.80 zł | |
Metoda płatności: SMS Premium | |
Dostęp do publikacji - jednorazowy (płatność SMS'em) - 11,07 zł brutto (9,00 zł + VAT) | |